Gebraucht LAM RESEARCH Exelan #9235217 zu verkaufen

LAM RESEARCH Exelan ist eine Präzisionsätz-/Ascheausrüstung, die für komplexe Ätzanforderungen mit hohem Durchsatz und hoher Qualität entwickelt wurde. Es bietet drei verschiedene Plasmaquellen, um eine optimale Ätzprozessleistung über eine breite Palette von Substraten zu ermöglichen, einschließlich Low-k, Ultra-Low-K (ULK) -Oxide und Nitride. Das Exelan-System besteht aus einer Lastschließkammer, einer Vakuumkammer und einer Robotersubstratübertragungseinheit mit bis zu drei Plasmaquellen. LAM RESEARCH Exelan wurde für maximalen Durchsatz und Flexibilität entwickelt und ermöglicht den Austausch von Substraten in jeder Kammer und kurze Zykluszeiten. Seine drei Plasmaquellen bieten kostengünstige und flexible Ätzlösungen, von Controlled Collapse Low Pressure (CCLP) Ätzen über atmosphärische Druck chemische Dampfabscheidung (APCVD) und Atomic Layer Deposition (ALD). Exelans CCLP-Ätzquelle verwendet fortschrittliche Mikrowellengenerator- und Antennentechnologie, um einen Hochleistungs-Ätzprozess mit zuverlässigen Ergebnissen zu gewährleisten. Die Brennerplasma- und nachgeschalteten Plasmaquellen der Maschine ermöglichen überlegene Selektivität und hohe Ätzraten mit niedrigen Ionenenergien für empfindliche Materialien wie LHDP- und ALD-Oxide. Die Plasmaquellen sind für einfache Wartung und außergewöhnliche Zuverlässigkeit in anspruchsvollen Produktionsumgebungen mit langer Betriebszeit ausgelegt. LAM RESEARCH Exelan Tool ist mit einer leistungsstarken Softwareplattform entwickelt, die erweiterte Prozesssteuerungsfunktionen bietet, einschließlich optimierter Rezepte für verschiedene Substrattypen. Diese erweiterten Steuerungen erleichtern hohe Ätzgenauigkeit, Wiederholbarkeit und maximalen Durchsatz in Anwendungen, in denen qualitativ hochwertige Ergebnisse erforderlich sind. Mit seinem robusten Design und der intuitiven Softwareschnittstelle ermöglicht Exelan einen schlanken Ätzprozess. Darüber hinaus ist LAM RESEARCH Exelan eine kostengünstige und anpassungsfähige Lösung, die den Anforderungen der Halbleiterindustrie effektiv gerecht wird. Mit seinen innovativen Plasmaquellen, fortschrittlichen Prozesskontrollfunktionen und ausgefeilter Software ist Exelan ein zuverlässiges und leistungsstarkes Etch/Asche-Asset.