Gebraucht LAM RESEARCH Exelan #9235218 zu verkaufen
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LAM RESEARCH Exelan ist eine Ätz-/Aschemaschine zum Ätzen und Aschen von Halbleitermaterialien. Es verfügt über eine Vielzahl von Funktionen, die den Prozess des Ätzens und Aschens effizient und präzise machen. Das System besteht aus einer Gasplatte, einer Plasmaquelle, einem Regler und einer Vakuumkammer. Exelan Gaspaneel ist entworfen, um die Zufuhr und Zusammensetzung der reaktiven Gase genau zu steuern, die für Ätz- und Aschevorgang verwendet werden. Es kommt mit einer Auswahl von verschiedenen Steckverbindern, Ventilen, Rohren und Reglern, um die Nutzung von mehreren Gasen während Ätz- und Ascheanwendungen zu ermöglichen. LAM RESEARCH Exelan Plasmaquelle ist entworfen, um eine Erhöhung der Temperatur des Substrats eines Materials bis zu mehreren tausend Grad Celsius zu erzeugen. Diese Hochtemperaturumgebung ermöglicht es den reaktiven Gasmolekülen, durch thermisches Ätzen oder ionengestütztes Ätzen Zielmaterial vom Substrat zu entfernen. Exelan Controller bietet Präzisionskontrolle und Überwachung des Ätz- und Ascheprozesses. Es ist mit einem leistungsstarken programmierbaren Logikcontroller oder SPS ausgestattet, der eine Prozessautomatisierung ermöglicht, die niedrige Arbeitskosten und einen erhöhten Durchsatz ermöglicht. Der Controller beinhaltet auch eine grafische Benutzeroberfläche zur einfachen Einrichtung und Steuerung des Ätz- und Ascheprozesses. Die Vakuumkammer von LAM RESEARCH Exelan Ätz-/Ascher-Einheit ist abgedichtet, um eine Vakuumumgebung zu erzeugen, um das Risiko einer Kontamination zu reduzieren und die Prozessausbeute zu verbessern. Es kommt auch mit verschiedenen Pump- und Hilfssystemen, um eine optimale Vakuumdruck- und Temperaturregelung während des Prozesses zu gewährleisten. Exelan Ätz-/Aschermaschine ist ein ideales Werkzeug zum Ätzen und Aschen von Halbleitermaterialien aufgrund seiner fortschrittlichen Eigenschaften, der hervorragenden Arbeitszyklusfähigkeit, der Präzisionsätzprozesse und der großen Zuverlässigkeit. Es ist auch eine gute Wahl für Unternehmen, die eine kostengünstige Möglichkeit suchen, Halbleiterprodukte mit höchster Qualität und Zuverlässigkeit herzustellen.
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