Gebraucht LAM RESEARCH Extrima 300NX #9246538 zu verkaufen

LAM RESEARCH Extrima 300NX ist ein fortschrittlicher Plasmaätzer/Ascher, ideal für eine Reihe von Aufgaben in der Industrie und Forschung. Es verfügt über einen Grunddruck von 6 × 10-7 Torr-Bereich und einen einstellbaren Vorwärtsdruck bis 0,1 Torr, was eine äußerst präzise Steuerung des Ätzvorgangs ermöglicht. Die integrierte Softwareschnittstelle ermöglicht parametrische Echtzeit-Rezepte und das On-the-Fly-Tuning von Ätzeigenschaften. Mit einem patentierten proprietären Design, einer Triode HF-Quelle und einem Leistungsbereich von 0 bis 200 Watt kann das Gerät bei einfacher Bedienung hochwertige Ergebnisse zu niedrigen Kosten liefern. Es hat eine hohe Kapazität 4 "Quarzrohr mit 40mm breiten Faltenbalg entworfen, um Verunreinigungen zu beseitigen, und ist in der Lage, entweder Batch oder Einzel-Wafer-Modus zu ätzen. Das 300NX verfügt über eine schnelle Prozesszykluszeit mit einem programmierbaren Drehtisch, der die Optimierung des Ätzprozesses für spezifische Anforderungen ermöglicht. Der Substrathalter ermöglicht eine genaue Positionierung und Handhabung der Substrate, die für verschiedene Ätzprozesse leicht verändert werden können. Das System ist mit einer Reihe von Sicherheitsfunktionen ausgestattet, die für einen sorgenfreien Betrieb ausgelegt sind. Es kann auf einem Links-Rechts-Lader für einfaches Be- und Entladen der Substrate montiert werden und ist entworfen, um Prozessgase innerhalb der Einheit für eine sichere und saubere Umgebung zu halten. Der Ätzer/Ascher beinhaltet auch einen Gasflussmonitor und Alarm sowie eine Inertgasspülmaschine und Filter, die die Umgebung vor toxischen oder gefährlichen Partikeln schützen. Mit diesen fortschrittlichen Funktionen wurde Extrima 300NX entwickelt, um die anspruchsvollsten Anforderungen an Ätzvorgänge für eine breite Palette von Materialien zu erfüllen.