Gebraucht LAM RESEARCH Extrima 3100 #293820193 zu verkaufen

LAM RESEARCH Extrima 3100 ist ein leistungsstarker, fortschrittlicher Ätzer/Ascher und eines der zuverlässigsten und effizientesten Plasmaätzsysteme der Branche auf dem Markt. Durch Hochdrucktechnologie und präzise Steuerung bietet Extrima 3100 überlegene Ätzqualität, verbesserte Gleichmäßigkeit und höhere Waferausbeute. Der Ätzer/Ascher umfasst eine Reihe von Funktionen, um zuverlässige und wiederholbare Operationen in kritischen Anwendungen zu gewährleisten. Die Kammer ist für kurze Zykluszeiten ausgelegt, um den Waferdurchsatz um bis zu 40% gegenüber herkömmlichen Methoden zu verbessern. Die Edelstahl-Kammerwände sind mit einer Kombination von Materialien beschichtet, um Gleichmäßigkeit und Genauigkeit des Ätzprozesses zu gewährleisten. Die Hardware von LAM RESEARCH Extrima 3100 besteht aus 6 Elektronen-Zyklotron-Resonanz (ECR) -Quellen, um eine genaue und effiziente Lieferung von Hochfrequenzleistung zu ermöglichen. Es hat auch Advanced Substrates Gas Injection Equipment (ASGIS) liefert eine präzise Mischung aus Ätz- und Reinigungsgasen. Herzstück des Systems ist die automatisierte elektrostatische Spanneinheit, die Wafer sicher greift, um optimale Reinigungsergebnisse zu erzielen. Die Softwarekomponenten von Extrima 3100 ermöglichen eine präzise Prozesssteuerung einschließlich Gasmischer, Prozessüberwachung und Rückkopplungssteuerung. Diese Funktionen ermöglichen es dem Bediener, die Parameter des Plasmarezepts wie Druck, Gasgemisch, Gasversorgung, Abgase und Temperatur einzustellen. Die Maschine bietet auch Umweltüberwachung der Kammer, um Prozessgenauigkeit zu gewährleisten und nicht etablierte Variablen zu erkennen. LAM RESEARCH Extrima 3100 ist für Wafer von 50mm bis 300mm ausgelegt und eignet sich ideal für kritische Halbleiterätz- oder Ätz-/Reinigungsprozesse. Seine fortschrittliche Bauqualität ermöglicht es, in verschiedenen Branchen wie Flachbildschirm, MEMS und MEMS-Verpackung, LED, Speichergerät Fabrikationen und andere Halbleiter Wafer Herstellungstechniken verwendet werden. Das Werkzeug ist kompatibel und einfach mit zahlreichen internen Werkzeugen zu integrieren, um maximale Flexibilität für eine automatisierte Produktionslinie zu liefern.