Gebraucht LAM RESEARCH Extrima 3100 #9270994 zu verkaufen

LAM RESEARCH Extrima 3100 ist eine hochmoderne Ätz-/Aschermaschine für die Halbleiterherstellung. Das System verwendet ein vakuumbasiertes Verfahren, um Muster oder Merkmale in ein Substratmaterial zu ätzen. Der Ätzprozess nutzt Plasma, reaktive Ionen und flüchtige Gase, um Muster unterschiedlicher Geometrien, Größen und Tiefen zu erzeugen. Extrima 3100-Einheit wird oft als dielektrischer Ätzer bezeichnet und ist für Prozesse wie Hartmaske (HM) Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD), Trockenätzen und tiefenreaktives Ionenätzen (DRIE) optimiert. Die Maschine wird von einem DC-Netzteil mit mehreren Quellen angetrieben und liefert eine maximale Leistung von 25kW. Es wurde entwickelt, um hohen Durchsatz, ausgezeichnete Gleichmäßigkeit, enge Prozesskontrolle und schnelle Prozesslaufzeiten zu liefern. LAM RESEARCH Extrima 3100 ist mit einer Reihe von Funktionen und Funktionen ausgestattet, die es zu einer attraktiven Option für die Halbleiterherstellung machen. Es bietet eine Reihe von Prozesssteuerungsfunktionen, mit denen Benutzer Prozessparameter wie HF-Leistung, HF-Frequenz, Gasdruck, Timing und Prozessdrücke genau und einfach programmieren und anpassen können. Das Tool ist auch in der Lage, anspruchsvolle Prozessanalysen durchzuführen, wie die Sammlung von Datenpunkten, um detaillierte Prozessergebnisse zu liefern. Darüber hinaus kann das Asset umfassende Wafer-Maps und Prozessverlaufsberichte generieren. Extrima 3100 verwendet ein innovatives Sicherheitsmodell, das Anwender vor potenziellen Gefahren schützt. Die Sicherheitsausrüstung umfasst Druckentlastungstüren, Sicherheitsverriegelungen, Temperatur-, Strömungs- und Gasmonitore sowie einen Not-Aus-Knopf. Dieses System kann auch mit nicht verdampfbaren Getterpumpen (NEG) konfiguriert werden, um potentielle Gefahren weiter zu begrenzen. Insgesamt ist LAM RESEARCH Extrima 3100 eine leistungsstarke und zuverlässige Ätz-/Aschereinheit. Seine Eigenschaften und Fähigkeiten machen es zu einer perfekten Lösung für die Halbleiterherstellung. Seine Präzision, Sicherheit und Benutzerfreundlichkeit machen es zu einer unbestreitbar attraktiven Option für jeden Herstellungsprozess.