Gebraucht LAM RESEARCH Extrima 3100 #9314231 zu verkaufen

LAM RESEARCH Extima 3100 ist ein Ätzer/Ascher, der entwickelt wurde, um präzise, qualitativ hochwertige Ätz- und Ascheprozesse für eine breite Palette von mikrofabrizierten Halbleiter- und MEMS-Komponenten zu liefern. Die Ausrüstung bietet die fortgeschrittenen Fähigkeiten, die notwendig sind, um sowohl eine gleichmäßige Abdeckung als auch eine feine Linienauflösung zu erreichen und die Herstellung spezialisierter mikroelektronischer Geräte zu ermöglichen. Es verwendet fortschrittliche Materialien für einen verbesserten Durchsatz und größere Ätztiefen. Das System ist auch so konzipiert, dass es die hohen Spezifikationen erfüllt, die für saubere und wiederholbare Verarbeitungsergebnisse erforderlich sind. Die Extima 3100 verfügt über eine fortschrittliche Richtätzeinheit mit einem Gasgemischverhältnisregler und Mehrfachgeschwindigkeitsauswahl, wodurch Benutzer eine Vielzahl von Materialien schnell, genau und wiederholt ätzen und aschen können. Es verfügt auch über eine hochpräzise Endpunkterkennungsmaschine, die eine äußerst genaue Kontrolle des Ätzprozesses ermöglicht. Mit diesem Tool können Ätzzeiten und gewünschte Merkmalsgrößen einfach überwacht und optimiert werden. Darüber hinaus ermöglicht die Steuerungssoftware des Asset den Betrieb in verschiedenen Modi wie Prozessimpuls und Bias RF-Ätzen. LAM RESEARCH Extima 3100 Ätzer/Ascher enthält ein automatisches Nachfüllmodell, um optimale Kammerbedingungen für wiederholbare Prozesse zu erhalten. Durch das kontinuierliche Zirkulieren und Auffüllen von Prozessgasen entfällt der manuelle Zusatz und die Verlängerung der Wartungsintervalle. Darüber hinaus erübrigt das integrierte Tool-Setup-Programm lange Rüstzeiten und ermöglicht einen konstanten Produktionsdurchsatz. Zusammen mit seiner leistungsstarken Software-Suite bietet das System eine Reihe von benutzerdefinierten Prozessen und komplette SPC-Unterstützung (Statistical Process Control). Dies bietet Anwendern eine vollständige und anpassbare Prozesssteuerung, einschließlich Rezeptgenerierung und vollständiger Aufzeichnungsfunktionen. Insgesamt bietet LAM RESEARCH Extima 3100 Ätzer/Ascher eine leistungsstarke Einheit für die Herstellung komplexer mikroelektronischer Geräte. Die erweiterten Ätzfähigkeiten und die breite Palette an Steuerungsoptionen bieten die Genauigkeit und Wiederholbarkeit, die erforderlich sind, um konsistente und qualitativ hochwertige Ergebnisse zu erzielen. Die automatische Bestandsergänzungsmaschine vereinfacht die Wartung und Einrichtung, während die benutzerfreundliche Software-Suite dazu beiträgt, wiederholbare, fehlerfreie Prozesse sicherzustellen. Schließlich bietet der Extima 3100 mit seiner kompletten SPC- und Rezeptgenerierung den Anwendern die Flexibilität und Kontrolle, die sie benötigen, um spezialisierte High-End-Geräte zu liefern.