Gebraucht LAM RESEARCH Flex 45 #293587510 zu verkaufen

LAM RESEARCH Flex 45 ist ein Einzelwafer-Ätz- und Ascherwerkzeug, das eine breite Palette an Prozesssteuerung und Flexibilität bietet. Mit einem branchenführenden Kammerdesign umfasst es patentierte Technologie wie programmierbaren Antrieb und aktive Fluidsteuerung, fortschrittliche Prozessgleichförmigkeit und überlegene Partikelsteuerung. Dies macht es ideal für MEMS, Nanofabrication und andere Anwendungen, die Präzisionsätz- und Ascheprozesse benötigen. Die interne Architektur ist für Parallelätzen und Aschen mit einem Wafer ausgelegt, was einen hohen Durchsatz und eine fortschrittliche Prozessgleichförmigkeit ermöglicht. Dies macht es zu einer ausgezeichneten Wahl für Ätz- und Ascheanwendungen in einer Vielzahl von Halbleiteranwendungen. Flex 45 verfügt über eine großflächige Kammer, die verschiedene Prozesse in einer einzigen Plattform unterstützt. Es kommt mit einem Turbolader-Design und einer Reihe von mV- und nA-Präzisionsätz- und -Veraschungstechnologien, die für eine Vielzahl von Anwendungen optimiert sind. Mit einem aktiven Durchflussregelsystem sorgt es für eine hohe Gleichmäßigkeit von Ätz- und Ascheprozessen durch automatische Einstellung von Durchflussraten und Drücken. Darüber hinaus reduziert die Prozesssteuerungstechnologie die Gesamtbetriebskosten und bietet fortschrittliche Prozesskontrolle und Einheitlichkeit für Ätz- und Ascheanwendungen. Diese Ätz- und Aschemaschine bietet zudem eine überlegene Partikelkontrolle mit fortschrittlichen Filterlösungen, die saubere, partikelfreie Ätz- und Aschekammern garantieren. Es ist mit fortschrittlichen Engineering-Funktionen wie Selbstdiagnose und Fernüberwachung gebaut, die eine optimale Verfügbarkeit und zuverlässige Leistung gewährleisten. Es verfügt auch über umfangreiche Sicherheitsmerkmale, einschließlich Sensoren und Verriegelungen zur Verhinderung von Schäden an Wafern und Prozesskomponenten. Insgesamt ist LAM RESEARCH Flex 45 ein einzigartiges Ätzgerät mit einer Vielzahl von Funktionen, die eine überlegene Qualität und zuverlässige Leistung in einer Reihe von Anwendungen gewährleisten. Durch die Kopplung von fortschrittlicher Prozesskontrolle und Gleichmäßigkeit, überlegener Partikelkontrolle und ausgezeichneter Zuverlässigkeit und Verfügbarkeit ist Flex 45 eine ideale Wahl für Anwendungen, die Präzisionsätzen und -veraschen erfordern.