Gebraucht LAM RESEARCH Flex 45 #293652872 zu verkaufen

LAM RESEARCH Flex 45 ist ein hochpräziser Ätzer/Ascher, der eine ultrapräzise und zuverlässige Verarbeitung komplexer Substrate und Anwendungen im Ätz- und Aschefeld ermöglicht. Mit fortschrittlicher Bewegungs- und Temperaturregelung bietet es überlegene Prozessgleichmäßigkeit, hohen Durchsatz und enge Funktion-zu-Funktion-Dimensionssteuerung für kritische Anwendungen in der Mikroelektronik-Industrie. Flex 45 ist mit einer Vollfeld-, echten isotropen, kapazitiv gekoppelten Plasma (CCP) -Ätzfähigkeit ausgestattet, die mit mikromachinierter Mikroelektrodentechnologie gekoppelt ist, um eine extrem hochauflösende Ätzleistung zu bieten. Durch eine bessere Kontrolle der Energiekopplung und Leistungsdichte während des Prozesses kann LAM RESEARCH Flex 45 die Verarbeitungszeit minimieren und unerwünschte Nebenwirkungen aufgrund einer ungleichmäßigen Plasmabelastung minimieren, die zu Verarbeitungsinkonsistenzen führen kann. Darüber hinaus bietet Flex 45 eine fortschrittliche Prozesssteuerung mit einem leistungsstarken Controller, der eine Echtzeit-Prozessüberwachung ermöglicht, um Belichtung, Temperatur und andere Parameter schnell anzupassen. Es ist solide gebaut mit einem robusten strukturellen Rahmen und einer Edelstahlkammer, die entworfen wurde, um eine ausgezeichnete thermische und mechanische Stabilität über eine Vielzahl von Prozessbedingungen zu bieten. Darüber hinaus verfügt das System über ein ausgeklügeltes Inertgas-Management-System (IGMS), das ein sehr präzises und wiederholbares rezeptgesteuertes Gasmanagement ermöglicht. Dies gewährleistet einen zuverlässigen und effizienten Plasmaprozess, komplett mit einer engen Steuerung der Prozessparameter, für die Hochleistungsätz- oder Ascheproduktion. Schließlich umfasst LAM RESEARCH Flex 45 ein umfassendes Interface and Communication Terminal (ICT), das bei der Verwaltung aller Aspekte der automatisierten Prozesssteuerung und Datenerfassung hilft. Dieses Terminal hilft, Programmierzeit und -aufwand zu reduzieren und ermöglicht es den Betreibern, leicht auf Rezepte zuzugreifen und Parameter einzurichten. Es verfügt über Fehlerüberwachung, Parameteraufzeichnung und variable Anzeigefunktionen sowie eine intuitive Benutzeroberfläche. Dies macht es zu einem leistungsstarken Werkzeug für Präzisionsätz- und Ascheprozesse.