Gebraucht LAM RESEARCH Flex 45 #293809879 zu verkaufen
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ID: 293809879
Weinlese: 2007, 2009
Etchers
(1) Equipment Front-End Module (EFEM)
(1) Transport Module (TM)
(1) Gate Interface Box (GIB)
(3) C/Bs
(3) Gas boxes
(3) RF carts
(1) Air Conditioning (AC) rack
(1) Remote Process Data Box (RPDB)
(3) Load ports
Covers
(2) Parts boxes
2007, 2009 vintage.
LAM RESEARCH Flex 45 ist ein hochentwickeltes Ätz-/Ascherwerkzeug, das hauptsächlich in der Herstellung von fortgeschrittenen Halbleiterbauelementen verwendet wird. Flex 45 bietet hohe Ätz- und Veraschungsfunktionen in einem ultrakompakten Paket, das die Prozessflexibilität erhöht und gleichzeitig den Platzbedarf minimiert. Mit fortschrittlichen Ausstattungsmerkmalen wie Parallelverarbeitung für große Volumina bietet LAM RESEARCH Flex 45 eine breite Palette von Filmerätz- und -veraschungsanwendungen. Flex 45 unterstützt die Gleichmäßigkeit verschiedener Wafer durch seine dynamischen Prozessparameter. Diese Parameter können über die benutzerfreundliche Schnittstelle der Bedienerkonsole eingestellt werden und umfassen Substratabstimmung, Gasflusssteuerung und Quellenleistung. Mit der Verfügbarkeit von Mehrfrequenz-Stromquellen erhöht die Fähigkeit, die geeignete Stromquelle für einen bestimmten Kanal oder Wafer zu wählen, den Durchsatz und die Qualität. Zusammen mit seinen beeindruckenden Ätz- und Aschefähigkeiten bietet LAM RESEARCH Flex 45 fortschrittliche Sicherheitsfunktionen, die während des Betriebs unerlässlich sind. Sie weist eine frei programmierbare Sicherheitsverriegelung und eine Notabschaltung auf, die bei Überschreiten einer bestimmten benutzerdefinierten Schwelle durch die Betriebstemperatur eingelegt wird. Dies gewährleistet den Schutz von Personal, Material und Ausrüstung. Für die besten Ergebnisse sind richtige Schulung und Wartung für den ordnungsgemäßen Betrieb von Flex 45 unerlässlich. Umfassende Schulungsverfahren bieten Anwendern die notwendigen Tools und Kenntnisse, um operative oder prozessbezogene Probleme zu bewältigen. Im Rahmen des Wartungsprogramms werden wöchentliche Feldkontrollen durchgeführt, um einen ordnungsgemäßen Betrieb zu gewährleisten und unerwartete Ausfallzeiten zu vermeiden. Abschließend ist LAM RESEARCH Flex 45 ein hochentwickelter Ätzer/Ascher, ideal für Anwendungen in der Halbleiterindustrie. Aufgrund seiner Mehrfrequenz-Stromquelle, der Fähigkeit zur Abstimmung von Prozessparametern und Sicherheitsfunktionen bietet Flex 45 einen hohen Durchsatz und qualitativ hochwertige Ergebnisse. Neben der richtigen Schulung und Wartung ist LAM RESEARCH Flex 45 ein zuverlässiges und einfach zu bedienendes Werkzeug, das für den Erfolg eines modernen Herstellungsverfahrens für Halbleiterbauelemente von grundlegender Bedeutung sein kann.
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