Gebraucht LAM RESEARCH Flex 45 #9241255 zu verkaufen

LAM RESEARCH Flex 45 Asher ist ein hochpräzises Werkzeug zur Durchführung von Nass- und Trockenätzprozessen. Diese Ausrüstung wurde entwickelt, um präzise Ätz- und Reinigungsfunktionen mit präziser Breitenkontrolle und Flexibilität zu bieten. Zu den einzigartigen Merkmalen des Flex 45 gehören eine leistungsstarke, in sich geschlossene Ionenstrahl-Ätzkammer, eine breite Palette an verfügbaren Ätz- und Reinigungsprozessen und die Fähigkeit, sowohl weiche als auch harte Materialien zu verarbeiten. Das Gerät ist in der Lage, sowohl lineare als auch rotatorische Verschiebungssteuerung sowie die Fähigkeit, mehrstufige Prozesse durchzuführen. LAM RESEARCH Flex 45 System beinhaltet eine vakuumdichte Kammer mit einer Niedertemperatur-Plasmaquelle, die zum Ätzen und Reinigen von Substraten verwendet wird. Diese Plasmaquelle ist sowohl für Opfer- und Selektivätzen als auch für die chemische Reinigung ausgelegt. Flex 45 enthält auch einen Roboterarm mit der Fähigkeit, Substrate in und aus der Bearbeitungsposition zu bewegen, zusammen mit einer präzisen Orientierung und Winkelpositionierung. LAM RESEARCH Flex 45 enthält neben seinem Roboterarm auch eine Prozesssteuereinheit mit PC-basierter Software, einem Datenlogger und einem pneumatischen Timer zur präzisen Taktung und Steuerung des Ätzprozesses. Die Flexibilität von Flex 45 erwies sich als das Hauptverkaufsargument, da das Werkzeug entwickelt wurde, um verschiedene Ätzprozesse auf verschiedenen Materialsätzen durchzuführen. LAM RESEARCH Flex 45 ist in der Lage, RIE- und DRIE-Ätzungen sowie Bandätzverfahren mit ein- und mehrstufigen Prozessen durchzuführen. Darüber hinaus kann Flex 45 ein Ionenstrahl-Ätzverfahren bereitstellen, das eine ideale Technik für schwer ätzbare Materialien wie Aluminiumnitrid ist. Neben diesen spezialisierten Ätzprozessen umfasst LAM RESEARCH Flex 45 auch Nassätz- und Reinigungsprozesse sowie eine breite Palette von Vorkonditionierungszyklen, um die höchste Prozesswiederholbarkeit und -genauigkeit zu gewährleisten. Die intuitive Bedienmaschine von Flex 45 bietet Anwendern die Möglichkeit, praktisch alle für einen erfolgreichen Ätz- oder Reinigungsprozess wesentlichen Parameter zu steuern. Das vollautomatisierte Prozesskontrollwerkzeug bietet LAM RESEARCH Flex 45 die Fähigkeit, sich selbst zu überwachen, um sicherzustellen, dass jeder Schritt des Prozesses richtig und effizient durchgeführt wird. Die Vielzahl der verfügbaren Prozesse und die erweiterten Automatisierungsfunktionen machen Flex 45 zu einem idealen Werkzeug für jede Ätz- oder Reinigungsaufgabe.