Gebraucht LAM RESEARCH Flex 45 #9260520 zu verkaufen

LAM RESEARCH Flex 45 ist ein hochpräziser Ätzer/Ascher, der sich ideal für die Präzisionswaferbearbeitung eignet. Es wurde speziell für verbesserte Produktivität und Vielseitigkeit entwickelt. Das Werkzeug sorgt für einen kontinuierlich laufenden Prozess mit hohem Durchsatz und kurzen Zykluszeiten. Flex 45 liefert überlegene Ergebnisse bei hohen Durchsatzraten mit einer Kombination aus Ätz- und Ascheprozessen in einem einzigen Werkzeug. LAM RESEARCH Flex 45 verfügt über einen Einkammer-Prozess, der es ermöglicht, sowohl Ätz- als auch Ascheprozesse gleichzeitig durchzuführen. Die Kombination von Ätz- und Ascheprozessen in derselben Kammer ermöglicht qualitativ hochwertigere Produkte, die weniger Schritte zur Herstellung erfordern. Dieser hochpräzise Ätz- und Ascheprozess wurde entwickelt, um den Durchsatz zu maximieren, Zykluszeiten zu minimieren und die Wartung zu minimieren. Flex 45 ist so konzipiert, dass mehrere Wafer parallel bearbeitet werden können, ohne dass Wafer von einer Station zur anderen übertragen werden müssen. Das Design von LAM RESEARCH Flex 45 umfasst zwei Quarzplattensysteme, die sich in entgegengesetzte Richtungen bewegen. Diese Zwei-Platten-Ausrüstung hilft, die Wiederholbarkeit durch Minimierung der Wafer-Deformation und Fehlausrichtung zu verbessern. Das Plattensystem hilft auch, die Partikelbildung zu minimieren. Flex 45 Ätzer/Ascher ist mit fortschrittlicher Prozesssteuerungs- und Überwachungssoftware ausgestattet. Diese Software besteht aus einer integrierten Echtzeit-Datenerfassungseinheit, die eine automatische oder manuelle Parameteranpassung zur Optimierung der Prozessbedingungen ermöglicht. Die Software beinhaltet auch eine On-Board-Spezies-Überwachungsmaschine, um zu bewerten, wie unterschiedliche Etch und Asche Prozesse von unterschiedlichen Prozessbedingungen beeinflusst werden. LAM RESEARCH Flex 45 ist für den sicheren Umgang mit hohen thermischen Belastungen wie Tiefenätzen von Wafern konzipiert. Es unterstützt auch eine breite Palette von Materialien, darunter verschiedene Arten von Keramik, Aluminium und Titan. Es ist auch in der Lage, Oberflächen mit Ablagerungen auf ihnen zu handhaben, wie Metalle, Dielektrika und elektrolumineszierende Materialien. Flex 45 ist in der Lage, wiederholbare, einheitliche Ätz-/Ascheprozesse mit einem schnellen Durchsatz bereitzustellen. Es verfügt auch über ein robustes Werkzeugdesign, um Wartung zu minimieren und die Produktivität zu erhöhen.