Gebraucht LAM RESEARCH Flex 45 #9281284 zu verkaufen

LAM RESEARCH Flex 45 ist ein PECVD-Ätzer/Ascher für eine Vielzahl von Halbleiteranwendungen. Dieser hochentwickelte Ätzer/Ascher bietet hochauflösende Prozessfunktionen mit präziser Kontrolle über Größe, Gleichmäßigkeit und Anisotropie. Das Kammerdesign von Flex 45 verfügt über eine flache untere Source-Drain-Isolation und eine Hochvakuumkammer. Die Kammer wurde entwickelt, um Prozessdrift zu reduzieren und die Gleichmäßigkeit des Substrats zu optimieren, sodass der Prozessor höhere Leistungsstufen erreichen kann. LAM RESEARCH Flex 45 bietet eine Reihe von Funktionen und Funktionen, die an die genauen Bedürfnisse jedes Benutzers angepasst werden können. Zweischichtige, multikristalline Siliziumprozesse werden durch die einstellbare Substratheizung und den erweiterten Massendurchflussregler (MFC) ermöglicht. Dies ermöglicht eine Optimierung des Prozesses für qualitativ hochwertige Ergebnisse bei minimaler Photoresist-Entlüftung und minimaler Dotierstoffabsorption. Die integrierte vorbeugende Wartungsfunktion reduziert Ausfallzeiten und stellt sicher, dass das System regelmäßig gewartet wird, um Prozessfehler zu vermeiden. Flex 45 verfügt auch über eine Vielzahl von Sicherheitsmerkmalen, wie eine automatische Prozessabschaltung beim Öffnen der Kammer, Nottürabschaltung und Temperatur-Sollwertgrenzen. Dadurch wird sichergestellt, dass Prozessfehler minimiert werden und die Benutzer geschützt sind. LAM RESEARCH Flex 45 wird von einem High-End-Halbleitersteuermodul (SCM) gespeist. Dieser fortschrittliche Controller überwacht und passt Ätzrezepte in Echtzeit an und bietet gleichzeitig erweiterte Berichtsfunktionen und Rückverfolgbarkeit des Ätzprozesses. Flex 45 wurde entwickelt, um maximalen Durchsatz und überlegene Gleichmäßigkeit bei minimalen Ausfallzeiten und hervorragender Prozessqualität zu bieten. Es ist ideal für die Serienfertigung von Halbleiterbauelementen und liefert kostengünstige und zuverlässige Ergebnisse für eine Vielzahl von Technologien.