Gebraucht LAM RESEARCH Flex 45 #9298282 zu verkaufen
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LAM RESEARCH Flex 45 ist eine hochleistungsfähige, hochproduktive Ätz-/Aschereinrichtung, die den Produktionsanforderungen für eine Vielzahl von Materialien und Prozessen gerecht wird. Dieses vielseitige Gerät verfügt über fortschrittliche Technologien wie Multi-Waveform HF-Leistung, Deep Reactive Ion Etching (DRIE) und erweiterte Prozesssteuerung. Flex 45 verwendet extreme ultraviolette Masken und hochauflösende Elektronenstrahl-Lithographie, um Muster auf dem Wafer mit Submikron-Auflösung zu erstellen. Mit seiner fortschrittlichen Prozesssteuerungshardware ermöglicht LAM RESEARCH Flex 45 den Anwendern auch die präzise Steuerung der Parameter, die den Ätz- oder Ascheprozess beeinflussen. Dieses System bietet auch mehrere Gasfunktionen und die Fähigkeit, einzelne Wafer oder mehrere Wafer-Rezepte schnell auszuführen. Flex 45 ist bekannt für seine Wiederholbarkeit und Stabilität und ermöglicht über lange Zeiträume einheitliche Prozessergebnisse. Dies wird dadurch unterstützt, dass die Maschine eine hervorragende Wiederholbarkeit und Verteilung von Prozessumgehungsprodukten aufweist. Die Gesamtkonsistenz des Werkzeugs hilft auch, die Ausfallzeiten aufgrund von Prozessabweichungen zu reduzieren. Durch LAM RESEARCH technisches Know-how und Leidenschaft für Produktinnovationen bietet LAM RESEARCH Flex 45 fortschrittliche Automatisierungsfunktionen, die die Effizienz des Ätz-/Ascheprozesses verbessern. Zu den herausragenden Merkmalen gehören Selective Area Cleansing (SAC), das Anwendern hilft, den Ätzbereich schneller und effektiver zu reinigen, sowie Kinetic Energy Management (KEM), was dazu beiträgt, die Zahl unvorhergesehener Katastrophen durch Tool-to-Tool-Interaktionen zu reduzieren. Robustheit und Vielseitigkeit kommen in Flex 45 zusammen. Dieses Ätzgerät/Ascher ist in der Lage, verschiedene Operationen auf verschiedenen Substraten durchzuführen, und es wurde entwickelt, um strenge Leistungsanforderungen zu erfüllen. Seine erweiterten Funktionen ermöglichen es Benutzern, komplexe Produkte innerhalb eines kürzeren Zeitrahmens im Vergleich zu herkömmlichen Prozessen zu produzieren. Dieses Asset bietet zudem eine hohe Prozessqualitätskontrolle, die Ausfallzeiten minimiert und konsistente Prozesse gewährleistet.
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