Gebraucht LAM RESEARCH Flex 45 #9298284 zu verkaufen

LAM RESEARCH Flex 45 ist ein Ätzer/Ascher, der eine effiziente und zuverlässige Plattform für die Ätz- und Aschebearbeitung verschiedener Materialien für eine Vielzahl von Anwendungen bietet. Flex 45 bietet eine Zweikammerkonfiguration mit beiden für Ätz- und Aschebetrieb optimierten Kammern. Seine erste Kammer nutzt eine Niederdruck-Hochvakuum-Umgebung, um die Scheibe von Verunreinigungen vor dem Ätzen zu reinigen. Die zweite Kammer ist zur Plasmakontrolle und Gleichmäßigkeit für Ätz-/Ascheoperationen optimiert. LAM RESEARCH Flex 45 bietet eine breite Palette von Funktionen, die präzise und gleichmäßige Ätz- und Ascheergebnisse über mehrere Wafergrößen hinweg ermöglichen. Insbesondere das fortschrittliche Automatisierungsprotokoll ermöglicht es Anwendern, mithilfe der intuitiven menügesteuerten Software schnell und einfach Ätzrezepte anzupassen. Flex 45 enthält auch eine Vielzahl von Sensoren und Monitoren, um sicherzustellen, dass die Bedingungen ordnungsgemäß eingehalten werden, um die höchste Leistung zu gewährleisten. LAM RESEARCH Flex 45 ist mit einer breiten Palette von Verarbeitungskomponenten und Materialien für flexible Ätzfunktionen ausgestattet, darunter eine Hochleistungs-Hochfrequenz-Stromquelle, mehrere Spannfutterkonstruktionen für vertikale und horizontale Kammern sowie zahlreiche Gaszufuhrsysteme. Diese Komponenten werden mit dem firmeneigenen Zweizonen-Ätz-/Aschekontrollsystem von Flex 45 kombiniert, mit dem Ätzzeit, Gasdruck und Temperaturen moduliert werden können, um den Ätz- und Ascheprozess für bestimmte Materialien und Anwendungen zu optimieren. LAM RESEARCH Flex 45 bietet auch eine Reihe von Sicherheitsfunktionen, um das Personal vor potenziellen Gefahren zu schützen. Diese Merkmale umfassen die automatische Notabschaltbarkeit im Alarmfall, die Fähigkeit zur Überwachung von Prozessgasen, Vakuumniveaus und Temperatur sowie ein integriertes Zugangskontrollsystem zur Begrenzung des Zugriffs auf bestimmte Bereiche. Durch die Kombination von Präzisionsätz-/Aschetechnologie, fortschrittlichen Automatisierungsfunktionen und robusten Sicherheitsfunktionen ist Flex 45 eine ideale Plattform für eine schnelle und effiziente Verarbeitung. LAM RESEARCH Flex 45 ist ein zuverlässiger und flexibler Ätzer/Ascher, der Anwendern wiederholbare Ergebnisse und höchste Leistung über mehrere Materialien hinweg bietet.