Gebraucht LAM RESEARCH Flex 45 #9308360 zu verkaufen
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LAM RESEARCH Flex 45 ist eine leistungsstarke, vollautomatisierte chemische Ätz-/Aschemaschine, die für eine Reihe fortschrittlicher Anwendungen entwickelt wurde. Flex 45 ist ein fortschrittliches Ätz-/Aschersystem, das auf multifunktionaler, prozessprogrammierbarer Technologie basiert. Es ist für maximale Ätzgleichmäßigkeit, Flexibilität und Produktivität für eine Vielzahl von Ätz-/Ascheanwendungen konzipiert. Das Gerät ist so konzipiert, dass es auch bei der Verarbeitung immer komplexer und empfindlicher 3D-Strukturen eine hervorragende Präzision und Gleichmäßigkeit von Gerät zu Gerät ermöglicht. Die Maschine ist mit einem umfassenden Satz von leistungsstarken Prozess- und Sicherheitssteuerungsfunktionen ausgestattet, die es Anwendern ermöglichen, ihre gewünschten Ätz-/Ascheergebnisse zu optimieren. Es wird mit patentierten Mikroprozessoren und proprietärer Software entwickelt, die schnelles und genaues Feedback zur Prozesswartung und -kontrolle liefern. LAM RESEARCH Flex 45 ist für hohe Präzision, hohen Durchsatz und hochwertige Waferoberflächenkonversion konzipiert. Flex 45 ist ein effizientes, kostengünstiges Werkzeug, das einen hohen Durchsatz und hohe Präzisionsätz-/Ascheergebnisse bei weniger chemischen Verwendungsanforderungen liefert. Das Asset-Design ermöglicht niedrige Partikeldurchflussraten, niedrige Hintergrundmetallverschmutzung und einen einfachen Wechsel von Chemie- auf Gasmodus. Es verfügt über eine extrem schnelle Time-to-Conversion, eine manuell einstellbare Abscheiderate und ein breites Prozessfenster. Das Modell bietet die Flexibilität, eine große Auswahl an Wafergrößen und -materialien zu verarbeiten, darunter einseitige und doppelseitige, hochdichte Interconnects, SiC, GaN und andere Materialien. LAM RESEARCH Flex 45 bietet eine Reihe von leistungsstarken, kundenspezifischen Ätz-/Ascheprozessmodulen je nach Anwendung, einschließlich CMP-Schlamm, PECVD und ALD. Flex 45 bietet auch eine fortschrittliche Reinigungs- und Ätz-/Aschelösung. Spezialisierte in-situ, berührungslose Selbstreinigungstechnologie hilft, Kontaminationen zu reduzieren und erhöht die Geräteleistung. Die automatisierten Funktionen der Prozesssteuerung und -wartung vereinfachen den Betrieb und minimieren Ausfallzeiten und sorgen für maximale Verfügbarkeit und Kosteneinsparungen. LAM RESEARCH Flex 45 ist ideal für fortgeschrittene Ätz-/Ascheanwendungen. Es ist ein leistungsstarkes, vollautomatisiertes chemisches Ätz-/Aschersystem mit umfassenden Funktionen, die zuverlässige hochpräzise und durchsatzstarke Ätz-/Ascheergebnisse ermöglichen. Flex 45 wurde entwickelt, um maximale Flexibilität, Einheitlichkeit und Produktivität zu bieten und gleichzeitig Kosten und Verschwendung von Chemikalien und Materialien zu reduzieren.
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