Gebraucht LAM RESEARCH Flex 45 #9314597 zu verkaufen

LAM RESEARCH Flex 45 ist ein multifähiger Ätzer/Ascher, der die anspruchsvollsten Ätz- und Ascheanforderungen für kritische Gerätestrukturen erfüllt. Flex 45 kann sowohl auf ebenen als auch auf dreidimensionalen Oberflächen geätzt und geascht werden. Mit einem optimierten Rezeptbauer kann LAM RESEARCH Flex 45 jedes Rezept schnell und genau verarbeiten. Dies in Kombination mit verbesserter Medienflexibilität macht Flex 45 zur idealen Lösung für eine Vielzahl von Ätz- und Ascheanwendungen. LAM RESEARCH Flex 45 ist mit einer einstellbaren Plattform entwickelt, um verschiedene Größen von Wafern und Substraten sowie unterschiedliche Ätz-/Ascheanforderungen genau zu verarbeiten. Es verfügt auch über eine einfache und intuitive Steuerungsausrüstung, so dass der Benutzer schnell zwischen Ätzrezepten oder automatisierten Laufsequenzen wechseln kann. Die Ätzkammer und der Kantenring sind aus Aluminiumlegierung für überlegene Haltbarkeit konstruiert, so dass Flex 45 schnelle Änderungen in Druck, Temperatur und Gasfluss bewältigen kann. LAM RESEARCH Flex 45 ist der erste Ätzer/Ascher, der eine breite Palette von Medienflexibilität bietet, so dass Benutzer mehrere Ätzrezepte gleichzeitig bedienen können. Es ist auch der erste Ätzer/Ascher, der erweiterte Profilsteuerungsfunktionen bietet, um Überätzungen und Unterätzungen zu reduzieren. Zusätzlich ist Flex 45 mit einer fest codierten Datenlogging-Funktion aktiviert, die eine detaillierte Aufzeichnung der Rezepteinstellung und -aktivität während des Ätz- oder Ashing-Prozesses liefert. LAM RESEARCH Flex 45 bietet auch eine Reihe fortschrittlicher Sicherheitsfunktionen, darunter ein integriertes Sicherheitsverriegelungssystem und einen Gassensor. Diese Sicherheitsmerkmale sorgen dafür, dass Flex 45 immer sicher und konform arbeitet. Die Sicherheitsverriegelungseinheit verhindert den Betrieb des Ätzers/Aschers, wenn die Prozessparameter falsch eingestellt sind, sodass der Benutzer die Einstellungen anpassen kann, ohne die Maschine anhalten zu müssen. Der Gassensor überwacht das Gleichgewicht von inerten und reaktiven Gasen, um das notwendige Sicherheitsniveau aufrechtzuerhalten und den Aufbau schädlicher Dämpfe zu vermeiden. Insgesamt ist LAM RESEARCH Flex 45 ein idealer Ätzer/Ascher für eine Vielzahl von Ätz- und Ascheanwendungen. Es wurde entwickelt, um sicher und zuverlässig zu sein, mit einem intuitiven Steuerungstool und erweiterter Medienflexibilität, so dass Benutzer schnell zwischen Ätzrezepten oder automatisierten Laufsequenzen wechseln können. Flex 45 ist sicher, die anspruchsvollsten Ätz- und Ascheanforderungen zu erfüllen.