Gebraucht LAM RESEARCH Flex 45 #9314598 zu verkaufen

LAM RESEARCH Flex 45
ID: 9314598
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2005
System, 12" 2005 vintage.
LAM RESEARCH Flex 45 ist ein Ätzer/Ascher der nächsten Generation, der speziell für Großgeräteproduktionsanwendungen entwickelt wurde. Mit seinem fortschrittlichen Design löst Flex 45 eine Vielzahl von Gerätearchitekturen, während Präzisionsgleichförmigkeit, Effizienz und Durchsatz berücksichtigt werden. LAM RESEARCH Flex 45 verfügt über eine intelligente, flexible Kassetten-zu-Kassetten-Ausrüstung, die eine verbesserte Betriebszeit unterstützt und eine höhere Prozesswiederholbarkeit gewährleistet. Es ermöglicht eine schnelle Werkzeugeinrichtung und Substrat-Lastverschluss-Platzierung, die eine höhere Produktivität und noch weniger Ausfallzeiten für Wartung/Umrüstung ermöglicht. Zur Optimierung der Prozessgleichförmigkeit stehen Standard- und benutzerdefinierte Konfigurationen zur Verfügung, darunter: lineare Steigung, vertikale Staffelung und Materialien im Fase/Band-Stil. Darüber hinaus kann das System eine Vielzahl von lagerbaren Bandmetallmaterialien für Ätz- und Ascheanwendungen akzeptieren. Flex 45 verfügt über eine leistungsstarke Prozessdiagnoseeinheit zur Überwachung der Effizienz aller Prozessparameter in Echtzeit. So können Anwender Prozessvariationen schnell erkennen, schnell auf Prozessänderungen reagieren und bei Bedarf Korrekturmaßnahmen durchführen. Darüber hinaus verfügt die Maschine über mehrere Temperaturregler, die mehrere Stufen der Stabilität und reduzierte Temperaturdrift über lange Laufzeiten ermöglichen. Seine Hochleistungsdigitalnachrichtenfähigkeiten von I/O und Ethernet bieten sofortige Ausgabe des Prozessstatus und der Ergebnisse, Fehler minimierend und Produktion vergrößernd. Schließlich umfasst LAM RESEARCH Flex 45 eine Reihe von Sicherheitsmerkmalen wie automatische Abschaltung für Verbrauchsteile und Werkzeugsicherheitsalarme, die den Betreibern die Sicherheit einer zuverlässigen Prozesssteuerung bieten und gleichzeitig die Betriebszeit weiter verbessern. Mit einer Kombination dieser fortschrittlichen Werkzeuge bietet Flex 45 ein umfassendes Ätz-/Aschegut für die Serienproduktion.
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