Gebraucht LAM RESEARCH Flex 45 #9315038 zu verkaufen

LAM RESEARCH Flex 45 ist ein fortschrittlicher Ätzer und Ascher für ultrahohe Ätzraten und optimale Prozessgleichförmigkeit. Dieses Gerät bietet überlegene Entfernung von Materialschichten mit Uniflex Direct Etch, während außergewöhnliche Profil und Ladesteuerung. Flex 45 ist auch in der Lage, nahezu jede Ätzchemie unter seinem breiten Prozessbereich zu erreichen. Es bietet eine präzise Synchronisation mehrerer Prozessschritte in einem Lauf sowie die Fähigkeit, eine Reihe von Substraten einschließlich Metallfolien zu handhaben. LAM RESEARCH Flex 45 ist mit einem proprietären Hochdruckgerät ausgestattet, das bis zu 90mTorr Kammerdruck für einen effizienteren Betrieb liefern kann. Dies wird mit einer Reihe von elektromagnetisch betätigten Transportstufen kombiniert, um eine schnelle und genaue Untergeschwindigkeitsverschiebung zu ermöglichen. Die optimale Prozessgleichförmigkeit wird durch ein patentiertes Drei-Zonen-Keramik-Gasverteilungssystem erreicht, mit der Fähigkeit, lokal und global exakt Ätztransienten zu zielen. Flex 45 verfügt zudem über eine moderne Prozesssteuerung, die Genauigkeit und Wiederholbarkeit für Ätzprozesse bietet. Diese Maschine umfasst einen Prozessrezept-Controller, ein fortschrittliches Gaskontrollwerkzeug, erweiterte Berichterstattung und Nachverfolgung von Hardwarefunktionen sowie die Fähigkeit, mehrere Substrate in einem Lauf zu steuern. LAM RESEARCH Flex 45 ist für maximale Fähigkeit beim Ätzen einer Reihe von Substraten ausgelegt, einschließlich dicker Schichten aus Silizium-Wafer, flexiblen Substraten, dünnen Filmen, Metallfolien und organischen Substraten. Es bietet sehr wiederholbare Ätzprofile über eine breite Palette von Ätzchemie. Dies kann für eine Reihe von Anwendungen wie Tiefätzen, hohe Seitenverhältnisätzung, Blindätzen und Gräben verwendet werden. Das Gerät eignet sich auch für Kristallwachstum, OLED-Geräteherstellung, Drahtbonden, MEMS-Geräte, Dünnschichtabscheidung und mehr. Flex 45 ist mit benutzerfreundlichen Softwaresteuerungen und grafischer Benutzeroberfläche für maximalen Komfort konzipiert. Die fortschrittliche Sicherheitsverriegelung bietet auch eine zusätzliche Schutzschicht. Dieses Gerät ist auch in der Lage, hochgenaue Hochgeschwindigkeits-Produktionsläufe mit minimalem menschlichen Eingriff. Mit seiner hervorragenden Prozessgleichmäßigkeit, kombiniert mit seinem funktionsreichen Steuerungsmodell, ist LAM RESEARCH Flex 45 eine ideale Wahl für jede Ätz-/Ascheanwendung, die konsistente Prozesssicherheit und Reproduzierbarkeit benötigt.