Gebraucht LAM RESEARCH Flex 45 #9315039 zu verkaufen

LAM RESEARCH Flex 45 ist ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher, der für den Einsatz in einer Vielzahl von Halbleiterprozessanwendungen entwickelt wurde. Das Gerät ist kompakt und hochautomatisiert und bietet eine effiziente und genaue Methode zum Ätzen empfindlicher Materialien. Es ist mit robusten Materialien gebaut, die eine lange Lebensdauer des Systems und einen effizienten Betrieb gewährleisten. Das Gerät verfügt über eine erweiterte Reaktionskammer aus Edelstahl und wird auf hohe Prozesstemperaturen erhitzt, um eine garantierte Präzision während des gesamten Prozesses zu gewährleisten. Die Reaktionskammer ist mit einem digitalen Vakuumdruckregler ausgestattet, der eine präzise Steuerung der Prozessumgebung ermöglicht. Die Kammer verfügt außerdem über einen sprühartigen Richtinjektor, der es ermöglicht, Substrate mit gleichmäßigen Ätzraten und minimalem Überätzen effektiv zu ätzen. Flex 45 verfügt zudem über eine ausgeklügelte Prozesssteuerung mit einer Human Machine Interface (HMI), die eine vollständige Prozesssteuerung ermöglicht. Dieses Bedienfeld unterstützt programmierbare Batch-Parameter, so dass der Bediener Prozessrezepte speichern und bei Bedarf zurückrufen kann. Der Controller bietet auch eine vollständige Palette von Prozessüberwachungsoptionen, einschließlich manuelles Tuning, automatisches Thermomanagement und erweiterte Diagnosedaten. Die Maschine verfügt auch über ein Partikelfilterwerkzeug, das die Partikel herausfiltert, die Ätzgenauigkeit und Substratqualität beeinflussen können. Diese Partikelkontrolle wurde entwickelt, um die Ätzgenauigkeit und den Ertrag zu verbessern und das Risiko von Prozesskontaminationen oder anderen Problemen im Zusammenhang mit der Partikelmitnahme zu verringern. Schließlich ist LAM RESEARCH Flex 45 mit einer Reihe von Sicherheitsfunktionen ausgestattet. Diese Merkmale beinhalten Notabschaltungen, Sicherheitssensoren und Luftfilter, die das Risiko verringern, dass gefährliche Partikel in die nutzbare Umgebung gelangen oder den Ätz-/Ascheprozess verunreinigen. Zusammenfassend bietet Flex 45 einen innovativen und zuverlässigen Ätzer/Ascher für die Halbleiterindustrie, der einen präzisen Ätzprozess liefert und auch Personal und Ausrüstung vor möglichen Prozessgefahren schützt. LAM RESEARCH Flex 45 ist mit seiner ausgeklügelten Prozesssteuerung, Sicherheitsmerkmalen und Partikelfilterung eine hervorragende Lösung zum Ätzen empfindlicher Materialien.