Gebraucht LAM RESEARCH Flex 45 #9315041 zu verkaufen

LAM RESEARCH Flex 45 ist eine leistungsstarke, schnelle und flexible Ätz-/Aschemaschine, ideal für eine Vielzahl von Mikro- und Nanoproduktionsanwendungen. Es bietet eine breite Palette von Prozessoptionen für Ätz- und Ascheprozesse, einschließlich Nass- und Trockenplasmaätzen und Aschereinigung. Das System ist in der Lage, verschiedene Materialien wie Metalle, Dielektrika, Polymerfilme und Leiter zu ätzen, zu aschen und zu inaktivieren. Flex 45 bietet eine hervorragende Prozesswiederholbarkeit und ermöglicht eine präzise Kontrolle über Ätzprofile und Oberflächenkontrolle des fertigen Produkts. Es verfügt über eine automatisierte Beschichtungssteuerung, die die Konsistenz zwischen verschiedenen Läufen und stabilen Ätz- und Ascherezepten sowie automatisierte Parameteranpassungen zur Prozessoptimierung gewährleistet. Dies trägt dazu bei, einen konsistenten Prozess und wiederholbare Ergebnisse zu gewährleisten. LAM RESEARCH Flex 45 verfügt auch über eine große Prozesskammer mit einem breiten Spektrum von Drücken, Temperaturen und Gasströmungen zur Verfügung, um spezifische Prozessbedingungen zu ermöglichen. Dies macht es ideal für eine Vielzahl von Materialien, von Metallen bis zu Dielektrika, sowie eine Vielzahl von Abscheidungsprozessen wie Sputter, Verdampfung, PECVD und CVD. Zudem bietet die Maschine Flexibilität in der Hardwarekonfiguration. Es kann konfiguriert werden, um kundenspezifische Anwendungsanforderungen zu erfüllen, mit Optionen für höhere Leistungen, größere Kammern, mehrere Kammern, erweiterte Glockengläser und andere kundenspezifische Hardwarekonfigurationen. Insgesamt ist Flex 45 ein ausgezeichnetes Ätz-/Ascherwerkzeug, das eine präzise Kontrolle über Ätzprofile, Oberflächensteuerung und Wiederholbarkeit in vielen verschiedenen Prozessanwendungen bietet. Es ist vielseitig einsetzbar und kann kundenspezifisch konfiguriert werden. Die schnelle Leistung von LAM RESEARCH Flex 45, die große Prozesskammer und das breite Spektrum an Prozessoptionen machen es zu einer idealen Wahl für Mikro- und Nanoproduktionsanwendungen.