Gebraucht LAM RESEARCH Flex 45 #9351376 zu verkaufen

LAM RESEARCH Flex 45 ist eine flexible und skalierbare Ätz-/Aschemaschine, die eine Vielzahl von Plasmareinigungs-, Ätz- und Ascheanforderungen erfüllt. Das System ist in der Lage, verschiedene Prozesse in einem einzigen Lauf wie Sputterätzen, Plasmaätzen, oxidativen sauberen und tiefen Trockenätzen durchzuführen. Es kommt mit einer intuitiven Benutzeroberfläche, die einfache Bedienung und bequeme Einrichtung von Rezepten für verschiedene Anwendungen ermöglicht. Seine erweiterten Funktionen helfen, Verschwendung zu minimieren und die Wiederholbarkeit der Prozesse zu maximieren. Das Gerät verfügt über einen modularen Aufbau, mit dem Benutzer mehrere Prozesskammern konfigurieren können, die flexible und zuverlässige Lösungen für eine Vielzahl von Ätzanforderungen bieten. Es ist mit Hochleistungs-Prozessquelle ausgestattet, die einen gleichzeitigen Betrieb von bis zu acht Plasmakammern mit zwei Stromversorgungen ermöglicht. Die Kammern sind individuell mit der notwendigen Hardware, Videomonitoren, Infrarot-Pyrometern zur Temperaturregelung und HF-Netzteilen zur unabhängigen Prozesssteuerung ausgestattet. Die Maschine bietet eine effiziente Koordination von sequentiellen und simultanen Plasmaprozessen mit manuellen und programmierbaren Plasmarezepten. Flex 45 verfügt über ein fortschrittliches Prozesskontrollwerkzeug, das qualitativ hochwertige Prozesse mit Echtzeit-Feedback und Abstimmung von Prozessparametern ermöglicht. Sein gebrauchsfertiges Dünnschichtabscheidungsmodul vereinfacht den Abscheideprozess und ermöglicht eine präzise Kontrolle von Dicke, Zusammensetzung und Spannungssteuerung. Die fortschrittliche Integration von Software ermöglicht eine effiziente Steuerung und Verwaltung von Rezepturdaten, Prozessoptimierung und Reinigungssequenzen. Die Anlage ist mit überlegenen Vakuumsteuerungen und Pumpsystemen ausgestattet und gewährleistet präzise und wiederholbare Prozesse in einer Vielzahl von Ätzanwendungen. Es verfügt auch über eine Auto-Tauchdüse für präzise Wafer Platzierung, Hochgeschwindigkeits-Duschkopf mit einem breiten Prozessfenster, und ein Bordrecycling-Modell, um n-Typ und p-Typ Kontamination zu minimieren. LAM RESEARCH Flex 45 ist in der Lage, eine Vielzahl von Substraten zu handhaben, darunter Silizium, Quarz, Galliumarsenid und Germanium. Insgesamt ist Flex 45 eine ideale Lösung für eine flexible und zuverlässige Verarbeitung verschiedener Substrate. Mit seiner fortschrittlichen Prozessfähigkeit, Kontrollsystemen und fortschrittlichen Umweltkontrollsystemen kann es leicht die Anforderungen verschiedener Ätz- und Reinigungsanwendungen erfüllen.