Gebraucht LAM RESEARCH Flex 45 #9358663 zu verkaufen
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LAM RESEARCH Flex 45 ist ein hochmoderner Ätzer/Ascher für die Halbleiterindustrie. Es verfügt über eine Dual-Source-Plasmaausrüstung, die eine optimale Abscheidung von Auf-Wafer-Materialien ermöglicht. Es handelt sich um ein vollautomatisches System, das eine Ladeschloss beinhaltet, die einen schnellen Waferwechsel und eine automatische Spülung ermöglicht, die die Prozesskammer während langer Produktionsläufe sauber hält. Flex 45 verwendet präzise gesteuerte Infrarotsensoren und erweiterte Steuerungssoftware, um die Verarbeitungsumgebung genau zu überwachen. LAM RESEARCH Flex 45 verfügt über eine Prozesskammer mit einem Innenraum von .85m2, die auf einen Druck von 200pTorr eingestellt ist. Es verwendet auch ein modernes HF-Netzwerk und Software-Steuerelemente, um die optimale HF-Leistung für jedes Prozessrezept genau anzupassen. Dies führt zu sehr hoher Prozessstabilität und Wiederholbarkeit sowie verbesserter Plasmagleichförmigkeit und besserem plasmainduziertem Niederfrequenzrauschen. Flex 45 wurde entwickelt, um höchste Qualitäts- und Zuverlässigkeitsstandards zu erreichen. Es wurde entwickelt, um eine Reihe von erweiterten Sicherheitsfunktionen, wie E-Stop-Sicherheitsverriegelung, mit Auto-Recovery nach Notabschaltung, sowie eine vollständige Suite von externen und internen Verriegelungssystemen zu integrieren. Das prädiktive Gesundheitsmonitoring garantiert auch eine unterbrechungsfreie Produktion. LAM RESEARCH Flex 45 verfügt zudem über ein leistungsfähiges, hocheffizientes Teilsystem zur Gasverteilung. Es kann bis zu vier Gasquellen gleichzeitig unterstützen und ist für einen kostengünstigen Gasverbrauch pro Wafer ausgelegt. Es verwendet ein robustes Gasverteilungsnetz sowie eine proprietäre Gasspüleinheit, um die Partikelerzeugung zu reduzieren und die Prozessreinheit zu erhalten. Flex 45 enthält auch einen Rezept-Manager-Computer, mit dem Benutzer Rezepte in der Datenbank verwalten, speichern und analysieren und Prozessschritte konfigurieren können. Dies hilft, die Werkzeugauslastung zu verbessern und die Werkzeugverfügbarkeit zu erhalten. Schließlich wird LAM RESEARCH Flex 45 durch LAM RESEARCH Engagement für Kundenservice und Zufriedenheit unterstützt. Es wird durch eine vollständige Palette von Kundensupport-Services unterstützt und wird mit einer einjährigen Garantie geliefert. Kurz gesagt, Flex 45 ist eine ausgezeichnete Wahl für Ihre Ätz- und Aschebedürfnisse.
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