Gebraucht LAM RESEARCH Flex 45 #9358666 zu verkaufen

LAM RESEARCH Flex 45 ist eine fortschrittliche Ätz- und Ascherlösung, die für eine Vielzahl von Anwendungen wie Abscheidung, Ätzen, Planarisierung und Kontaktexposition entwickelt wurde. Es ist eine leistungsstarke und robuste Plattform, die Substrate bis zu 12 Zoll und maximal 4 Wafer aufnehmen kann. Flex 45 verwendet die Plasma Expression™ Technologie, um die ideale Ätz- und Ascheleistung und Wiederholbarkeit bei absolutem fehlerfreiem Betrieb zu erreichen. Darüber hinaus ist die Ausrüstung mit den neuesten Sicherheitsmerkmalen für eine verbesserte Prozess- und Bedienersicherheit ausgestattet. LAM RESEARCH Flex 45 ist für hohe Zuverlässigkeit und Produktionseffizienz mit einer breiten Palette von Optionen für mehr Leistung und Produktivität konzipiert. Es verfügt über einen fortschrittlichen Controller, der eine Echtzeit-Prozessoptimierung und -integration mit dynamischer Prozesssteuerung bietet. Das Prozessgassteuerungssystem ist zur rückseitigen Substratheizung in der Lage und unterstützt eine Vielzahl von Prozessrezepten und Profilen, die leicht zwischen Systemen übertragen werden können. Das Gerät ist zudem mit einer automatisierten Wafer-Handhabungsmaschine ausgestattet, die bis zu 4 Substrate gleichzeitig übertragen kann. Die integrierte Automatisierungstechnik im Flex 45 sorgt zudem für die Wiederholbarkeit der Ätz- und Ascheprozesse. LAM RESEARCH Flex 45 verfügt außerdem über einen doppelwandigen Plasmareaktor mit einem 7-Sensor-Array zur Temperaturmessung und Gleichmäßigkeitsregelung. Dies ermöglicht eine präzise Einstellung von Plasmaparametern mit automatischer Ausrichtung und Echtzeitauswertung der Plasmagleichförmigkeit. Flex 45 kommt auch mit einem fortschrittlichen Sicherheits-Verriegelungswerkzeug, das mehrere Ebenen der Sicherheit und Notsteuerung umfasst, sowie Hochdruck-Mikrowellengenerator-Steuerung und Notabschaltung. Hinsichtlich der Produktivität verfügt LAM RESEARCH Flex 45 über ein hocheffizientes Wafer-Transfer-Asset für einen verbesserten Durchsatz sowie ein automatisiertes Datenlogging-Modell zur Prozessvalidierung und -optimierung in Echtzeit. Das Gerät umfasst auch eine proprietäre Rezept- Optimization™ (RO™) -Technologie, mit der Anwender schnell das optimale Prozessrezept identifizieren und den Durchsatz maximieren können, ohne die Prozessqualität zu beeinträchtigen. Insgesamt ist Flex 45 eine fortschrittliche Ätz- und Ascherlösung, die auf hohe Zuverlässigkeit und Produktionseffizienz ausgelegt ist. Es verfügt über einen fortschrittlichen Controller mit Echtzeit-Datenerfassung, einen doppelwandigen Plasmareaktor mit 7-Sensor-Array zur Temperatur- und Gleichmäßigkeitskontrolle und ein automatisiertes Wafer-Handling-System für verbesserten Durchsatz. Darüber hinaus umfasst LAM RESEARCH Flex 45 eine Rezeptoptimierungstechnologie, um optimale Prozessrezepte zu gewährleisten und den Durchsatz zu maximieren, sowie eine umfassende Sicherheitsverriegelungseinheit und Notabschaltung für eine verbesserte Prozess- und Bedienersicherheit.