Gebraucht LAM RESEARCH Flex 45 #9358687 zu verkaufen

LAM RESEARCH Flex 45 ist eine Ätz- und Aschemaschine, die hauptsächlich für Halbleiterherstellungsanwendungen entwickelt wurde. Es ist in der Lage, eine Vielzahl von Materialien von Silizium und Verbindungshalbleiter zu Aluminium und Gold zu ätzen. Sein einzigartiges Design verfügt über eine thermische Quelle und mehrere Vakuumkammern und kann jede Größe Wafer bis zu 8 "im Durchmesser verarbeiten. Flex 45 bietet außerdem die Möglichkeit, Ätzraten, Selektivität und eine hohe Präzision zu steuern. LAM RESEARCH Flex 45 wird von einem Bewegungssteuerungssystem angetrieben, das die Abfolge von Prozessschritten, einschließlich HF-Vorspannung und Prozessgassteuerung, automatisch abläuft. Außerdem ist eine automatische Wafervorausrichtung vorgesehen, um eine gleichmäßige Beladung der Substrate über jede Prozesskammer zu gewährleisten. Die Maschine ist auch mit einem proprietären Softwarepaket für Rezeptentwicklung und Bedienung verbunden. Das Ätzen eines Halbleiterwafers ist ein äußerst komplexer und heikler Vorgang, der eine präzise Steuerung der Ätzparameter erfordert. Das Erreichen idealer Bedingungen erfordert eine präzise Kontrolle der Temperatur-, Leistungs- und Gasdurchflussraten. Flex 45 verfügt über eine vielseitige Palette zuverlässiger und bewährter Technologien wie HF-Energie, Magnetron-Sputtern und Plasmaätzen. Darüber hinaus verfügt die Maschine über einen integrierten Differenzdrucksensor (DIPS), der die Ätzprozessbedingungen genau überwacht. LAM RESEARCH Flex 45 ist in der Lage, Siliziumscheiben sowie Verbindungshalbleiter wie Siliziumgermanium und Galliumarsenid zu ätzen. Es kann auch zum Ätzen von Hartmetallen wie Aluminium und Gold verwendet werden. Das Prozessmodul von Flex 45 ist für die einfache Integration in eine Vielzahl von Prozessmodulen konzipiert, was eine hohe Flexibilität für die Anpassung von Ätzprozessen ermöglicht. LAM RESEARCH Flex 45 ist auf Leistung ausgelegt, mit dem Ziel, höchste Qualität bei möglichst effizienten Kosten zu erreichen. Die Maschine wird unter Berücksichtigung der Sicherheit und des Umweltschutzes nach den höchsten Standards der Branche gebaut. Flex 45 ist eine gute Wahl für ein Ätz- und Aschesystem, das eine präzise Kontrolle über Ätzprozesse und Flexibilität für kundenspezifische Rezepte bietet.