Gebraucht LAM RESEARCH Flex 45 #9358689 zu verkaufen

LAM RESEARCH Flex 45 ist eine hochmoderne Ätz-/Aschermaschine mit hoher Präzision und Genauigkeit mit vollständig integrierten Plasmaätz- und Nassätztechniken. Dieses leistungsstarke Werkzeug soll optimale Ätzprozesse unter anderem für verschiedene Materialien wie Halbleiter, MEMS und Solarzellen unterstützen. Es verfügt über eine leistungsstarke automatisierte Wafer-Handhabungsfunktion auf Einzelwaferebene, was bedeutet, dass mehrere Ätzprozeduren für einen einzelnen Wafer festgelegt werden können, was einen hohen Durchsatz ermöglicht. Flex 45 verfügt über eine überlegene Platzierungsgenauigkeit kritischer Geometrien und ermöglicht eine enge Prozesskontrolle. Diese Genauigkeit wird durch ein hochpräzises und zuverlässiges Waferübertragungssystem erreicht, das mit einem fortschrittlichen Elektrodenpositionierer gekoppelt ist, um außergewöhnlich präzise Ablationsprofile bereitzustellen. Darüber hinaus verfügt LAM RESEARCH Flex 45 über eine Reihe von Fehlerkorrekturwerkzeugen, die eine optimierte Steuerung von Ätzprofilen ermöglichen. Flex 45 ist mit einem Dual-Stage, Pulsed-DC Plasmagenerator ausgestattet, der hochdichte Sauerstoffplasmen erzeugen kann und sowohl für hochdichte Plasmaätz- als auch für Nassätzanwendungen verwendet werden kann. Das Gerät bietet auch eine breite Palette von Ätzchemie und seine automatisierten Wafer-Tempo-Ätzfähigkeiten machen es für die Serienproduktion geeignet. Die benutzerfreundliche, intuitive grafische Benutzeroberfläche von LAM RESEARCH Flex 45 macht es äußerst einfach, Ätzprozesse einzurichten, zu überwachen und Daten zur Analyse und Prozessoptimierung zu sammeln. Darüber hinaus überwacht und wertet das Tool Daten routinemäßig in Echtzeit aus und erleichtert so optimierte Prozessergebnisse. Flex 45 ist in der Lage, über seine rundum elektromechanischen Ausrichtungsfunktionen sehr große Geometrien zu ätzen und bietet dem Anwender höchste Flexibilität. Das Werkzeug ist auch mit einer fortschrittlichen Vision-Maschine für eine genaue vertikale Ausrichtung ausgestattet, die ein hochpräzises Ätzen auch der kleinsten Merkmale ermöglicht. Insgesamt ist LAM RESEARCH Flex 45 ein leistungsstarkes und vielseitiges Werkzeug für Ätz- und Nassätzanwendungen, das Präzision und Genauigkeit sowie einen hohen Durchsatz bietet. Es eignet sich ideal für zahlreiche Branchen, wie Halbleiter, MEMS, Solarzellen und viele andere.