Gebraucht LAM RESEARCH Flex 45 #9378664 zu verkaufen

LAM RESEARCH Flex 45 ist eine fortschrittliche Radierung/Asper, die für eine Vielzahl von Ätz- und Asperanwendungen geeignet ist. Es handelt sich um eine Einzelplattenausrüstung, die für hohe Durchsätze, hohe Selektivität und Asperprozesse ausgelegt ist. Das System ist mit leistungsstarken Resonant Helicon und Hot Wall ICP Ätzquellen ausgestattet, die eine präzise Kontrolle über Prozessparameter für anspruchsvolle Ätzrezepte ermöglichen. Es verfügt auch über fortschrittliche Prozesssteuerungssoftware, die eine unübertroffene Prozesssteuerung vom Substrat zum Substrat ermöglicht. Flex 45 kann eine breite Palette von Substraten bis zu 3mm dick aufnehmen und kann mit sehr hoher Wiederholbarkeit und Präzision ätzen. Es unterstützt Durchsätze von bis zu 40 Wafern pro Stunde (WPH) sowie komplexe Ätzrezepte mit voller Prozesssteuerung. Das Gerät unterstützt auch Prozesse wie isotropes Ätzen, anisotropes Ätzen, Aussparungsätzen, Photolack- und Hardmaskenätzen sowie die Steuerung von Oberflächenmerkmalen. Die resonante spiralförmige Quelle der Maschine wurde mit proprietärer Tuning-Technologie entwickelt, die einstellbare Leistung, Wellenform und Frequenz liefert. So können Anwender Prozessergebnisse wie Ätzrate, Profilform, Prozessselektivität, Asper-Gleichmäßigkeit und Seitenwandwinkel anpassen. Die zugehörige ICP-Quelle ermöglicht Prozesse mit sehr geringer Ätzrate und einem isotropen Ätzprofil. Die resonante spiralförmige Quelle ermöglicht auch eine sehr gleichmäßige Ätztiefe bei geringer und gleichmäßiger Grundlinienätzung. Die resultierende Genauigkeit der KE-Tiefe kann bis zu ± 1% betragen. LAM RESEARCH Flex 45 verfügt über eine breite Palette von Funktionen und Optionen, die es Anwendern ermöglichen, das Werkzeug an ihre Bedürfnisse anzupassen. Das Asset Loadlock ist mit einem Druckregelungsmodell ausgestattet und verfügt über atmosphärische und Hochvakuumoptionen. Dies ermöglicht ein schnelles Be- und Entladen des Substrats und verringert gleichzeitig die Verschmutzung. Das Gerät verfügt auch über eine motorisierte Bewegungssteuerung für automatisierte Substratklemmen und eine Heißwandätzquelle mit variabler Intensität, die für fortgeschrittene Ätzprozesse entwickelt wurde. Flex 45 bietet auch eine direkt schreibende Bildgebungslösung, mit der Benutzer direkt auf das Substrat schreiben können. Diese Funktion reduziert die Variabilität, indem die Notwendigkeit der Maskierung oder Übertragung eines Retikels entfällt, wodurch Benutzer wertvolle Zeit abrasieren und gleichzeitig die Genauigkeit erhöhen können. Das System ist sowohl mit pneumatischen als auch mit weichen Ventilen zur Prozesssteuerung kompatibel und ermöglicht eine präzise Steuerung der Prozessumgebung. Schließlich bietet LAM RESEARCH Flex 45 auch vollautomatisierte Funktionen für digitales Profiling, Traceback und Videoüberwachung. Es verfügt über eine fortschrittliche Zyklonsteuerung, eine innovative Überwachungseinheit für kritische Dimensionen und eine digitale Video-on-Demand-Option, mit der Benutzer den Ätzfortschritt in nahezu Echtzeit beobachten können. Mit seinen modernsten Funktionen und Prozesssteuerungsfunktionen ist Flex 45 ein idealer Ätzer und Asper für eine Vielzahl von Ätz- und Asperanwendungen.