Gebraucht LAM RESEARCH Flex 45 #9379094 zu verkaufen

LAM RESEARCH Flex 45
ID: 9379094
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2006
Etcher, 12" 2006 vintage.
LAM RESEARCH Flex 45 ist ein hochwertiger Ätzer/Ascher für Hochleistungs-Plasmaätz- und -Ascheanwendungen. Dieses Gerät ist mit einer 3,2 Meter großen Kammer ausgestattet und hat eine 45 cm sechseckige Platte. Es bietet den höchsten Durchsatz mit einer maximalen Belastung von 40 Substraten, einem Abstand von 10 cm zwischen jedem Substrat und einer mehrstufigen Ätz-/Ascherezept-Fähigkeit bis zu 18 Schichten tief. Flex 45 bietet zudem eine überlegene Gleichmäßigkeit und Steuerung der Funktionsdefinition und ist gleichzeitig äußerst zuverlässig und kostengünstig. Das System ist mit mehreren fortschrittlichen Plasmaprozessen ausgestattet, wie RF/DC/DC Reactive Ion Etching (RIE). Es ist für erweiterte Ätz- und Ascheprofile mit bis zu 18 Schichten wiederholbarer, definierter Formelementdefinition konzipiert. Die mit RIE verwendete Plasmaquelle ist eine zweistufige zweifrequente HF-Quelle mit einem Pre-Ionisator, um Passivierungseffekte zu minimieren und eine gute Gleichmäßigkeit zu ermöglichen. Darüber hinaus bietet dieses Gerät dynamische Frequenzabstimmung und Pulsfähigkeit für die Maschine, um überlegene Ätz- und Ascheprofile zu erzielen. LAM RESEARCH Flex 45 ist zudem mit verbesserten Reinigungsfunktionen ausgestattet, die eine qualitativ hochwertige Reinigung fortschrittlicher Musteroberflächen ermöglichen. Dazu gehören Kammerwandbeschichtung und Entstimmungsschutz sowie Partikel auf Stickstoffbasis und Gasphasenätzen. Das Werkzeug ist auch in der Lage, eine breite Palette von Prozessen wie in-situ Reinigung, Kammerwandbacken und Sputtern, um überlegene Leistung und qualitativ hochwertige Ergebnisse zu gewährleisten. Flex 45 ist ein sehr zuverlässiger Ätzer/Ascher und ist in der Lage, extrem hohe Präzision und Genauigkeit, mit unglaublich wiederholbaren Ergebnissen. Das Asset ist mit 4-Zoll-Touchscreen-Display mit grafischer Benutzeroberfläche (GUI) für eine einfache Bedienung ausgestattet. Es ist in einem staubdichten und staubdichten Schrank für erhöhten Schutz und Sicherheit untergebracht. Darüber hinaus ist es auch mit einem Fernüberwachungsmodell für die Fernunterstützung und den Zugriff über das Web ausgestattet. Diese Ausrüstung wird auch durch ein umfassendes Service- und Supportprogramm unterstützt, um maximale Verfügbarkeit und Ruhe zu gewährleisten.
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