Gebraucht LAM RESEARCH Flex 45DD #9011013 zu verkaufen
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LAM RESEARCH Flex 45DD ist ein Ätzer/Ascher, der für eine Vielzahl von Produktionsanforderungen entwickelt wurde. Es ist ideal für die Halbleiterscheibenbearbeitung unter anderem beim Waferbonden, bei der Oberflächenfilmaufbereitung und beim Oxidätzen. Es verfügt über eine PECVD-Kammer, die es erlaubt, konformes Siliziumdioxid und Siliziumnitrid auf Wafern abzuscheiden, sowie die Fähigkeit, Reactive-Ion-Ätzungen (RIE) für präzisere strukturierte und definierte Merkmale durchzuführen. Das flexible Design von Flex 45DD ermöglicht den Einsatz in einer Vielzahl von Produktionseinstellungen, einschließlich flexibler, kontinuierlicher, Batch-, Clusterwerkzeuge und isolierter Asher-Anwendungen. LAM RESEARCH Flex 45DD nutzt eine Produktionsfläche von bis zu 15.000 Wafern mit einem maximalen Durchsatz von bis zu 380 Wafern pro Stunde. Dieser Ätzer/Ascher verfügt über eine universelle PECVD-Kammer mit unabhängigen Durchflussregelventilen, die eine präzise Steuerung von Gasströmen, Drücken und Temperaturen ermöglicht. Es beinhaltet auch ein programmierbares Wafer Handling Equipment mit einstellbaren Temperatur- und Druckeinstellungen, einstellbarer Spaltregelung, Waferdrehung und einem rezeptgetriebenen automatisierten Tuning-Modus. Dies ermöglicht eine präzise Verarbeitung verschiedener Substrate und Wafertypen. Darüber hinaus ist Flex 45DD mit einer Vielzahl von Inspektions- und Messsystemen kompatibel und bietet genaue Messungen der Ätz- und Abscheideprozesse. LAM RESEARCH Flex 45DD ist auch zuverlässig und sicher in der Anwendung, durch seine Konstruktionsmerkmale und integrierte Systemabsicherung. Es verfügt über eine hochintegrierte Steuereinheit mit einer Vielzahl von integrierten Diagnose- und Sicherheitsfunktionen, die den Prozess automatisiert und sicherstellt, dass die Maschine den werkseigenen Sicherheitsvorschriften entspricht. Das Werkzeug verfügt außerdem über eine Vakuumkammer mit integrierten Freiräumen und Sicherheitsverriegelungssystemen zur Vermeidung von Unfällen während des Betriebs. Zusätzlich wird eine Laserablationskammerreinigung eingesetzt, um eine optimale Produktionsleistung zu gewährleisten, während eingebaute Systeme sowohl die Werkzeuge als auch die Anwender vor langfristigen Schäden durch Stromausfälle und Überlastungen schützen. Abschließend ist Flex 45DD ein zuverlässiger und effizienter Ätzer/Ascher, ideal für die Halbleiterwaferbearbeitung. Mit seinem flexiblen Design, den PECVD-Fähigkeiten, den einstellbaren Spaltsteuerungen, der Waferdrehung und dem automatisierten Tuning-Modus kann es eine Vielzahl von Substraten und Wafertypen schnell und genau verarbeiten. Es verfügt auch über eine Vielzahl von eingebauten Sicherheitsfunktionen, um einen effizienten und sicheren Betrieb des Werkzeugs zu gewährleisten.
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