Gebraucht LAM RESEARCH FLEX DS #293628303 zu verkaufen

LAM RESEARCH FLEX DS ist eine vollständig integrierte Multi-Process Etcher/Asher Ausrüstung, die von LAM RESEARCH entwickelt wurde. Es ist ein fortschrittliches System, das in der Lage ist, eine Vielzahl von Prozessen wie Ätzen, Aschen, Reinigen, Abstreifen und Oberflächenvorbereitung durchzuführen. Das Gerät ist mit Blick auf Sicherheit und Produktivität konzipiert, mit einer vereinfachten Architektur, die maximalen Durchsatz und minimale Ausfallzeiten gewährleistet. Die Maschine besteht aus drei modularen Komponenten: dem Prozessmodul, dem thermischen Elektrowerkzeug und einem Controller. Das Prozessmodul besteht aus zwei Kammern, der Netzkammer und der Pufferkammer. Die Netzkammer ist mit mehreren Prozessgasen, elektrischer Energie und Vakuumanschlüssen ausgestattet und dient zum Be- und Entladen von Wafern. Es beherbergt auch die Gaslieferanlage und die Prozess-Hochfrequenz (RF) -Stromversorgung. Die Pufferkammer nutzt die thermische Steuerung, um eine optimale Temperaturgleichförmigkeit und Prozessgleichförmigkeit zu erreichen. Das thermische Leistungsmodell, das aus einem AC/DC-Generator und einem Festkörper-gesteuerten Hochspannungsschaltmodul besteht, ist für die Bereitstellung der für Ätz- und Ascheprozesse notwendigen Stromversorgung zuständig. Es sorgt für konsistente Ausgangsspannungen und Frequenzen, während es das Gerät vor Spannungsstößen und anderen elektrischen Anomalien schützt. Das Controller-Modul ist mit einem intuitiven Touchscreen-Bedienfeld ausgestattet, das es dem Bediener ermöglicht, Prozessgasströme, HF-Leistung, Kammerbedingungen und Temperatur/Druck-Einstellungen zu überwachen und anzupassen. Es enthält auch eine integrierte Datenbank für Datenerfassung und -überprüfung, sowie eine Bibliothek von Rezepten für verschiedene Prozessanforderungen. Darüber hinaus bietet es eine Bibliothek mit zusätzlichen Funktionen wie Rezeptverwaltung, Maschinen- und Werkzeugdiagnose und Systemsteuerung. FLEX DS ist in der Lage, Ätz- und Ascheprozesse auf einer Vielzahl von Substraten wie Si-Wafern, Flachbildschirmen und 3D-gedruckten Teilen durchzuführen. Es enthält auch eine Vakuumüberwachungseinheit, die maximale Prozessgleichmäßigkeit und Sauberkeit gewährleistet. Diese Maschine wurde entwickelt, um die Wiederholbarkeit und Flexibilität der Prozesse zu maximieren und gleichzeitig den Zeitaufwand für Wartung und Setup zu reduzieren.