Gebraucht LAM RESEARCH FLEX DS #293636663 zu verkaufen

LAM RESEARCH FLEX DS ist ein fortschrittliches Ätz-/Ascherwerkzeug, das in der Halbleiter- und anderen fortschrittlichen Industrien zur Erstellung von Mikrostrukturen und anderen komplexen Strukturen verwendet wird. Dieses Tool bietet Prozessgleichmäßigkeit, sowohl bei der Profilerstellung als auch bei der Profilpflege. FLEX DS hat die Fähigkeit, mehrere Ätz- oder Ascheprozesse gleichzeitig mit hohem Durchsatz und Prozessgenauigkeit auszuführen. Das Werkzeug kombiniert thermische CVD- und Plasmaätz-/Aschetechnologien in einer Mehrkammerkonfiguration mit einem einzigen Waferübertragungsmechanismus für hohe Gleichmäßigkeit und Prozesskonsistenz. LAM RESEARCH BEUGT DS hat eine 15-Zoll-offene Last, Doppelminibeengtheitstransportsystem für den hohen Durchfluss. Es verfügt auch über ein integriertes Vakuumsystem und eine Mehrkammer-Architektur, die ein Mehrpass-Ätzen mit programmierbaren Rezepten basierend auf den Anforderungen jeder Schicht oder jedes Merkmals ermöglicht. Für Anwendungen, bei denen hohe Selektivität gefordert wird, steht eine optionale UKW-Kammer für höhere Plasmaqualität und verbesserte Merkmalätzselektivität zur Verfügung. FLEX DS ist zudem mit den neuesten Echtzeit-Datenerfassungs- und Steuerungssystemen für eine präzise Analyse und automatisierte Prozesssteuerung ausgestattet. Dazu gehören ein Vier-Taschen-Massenstrom-Controller, Quad oder Oktal Photon Deposition Belichtungssysteme sowie Prozessgaslieferung und -überwachung. Es verfügt auch über eine Betriebsumgebung mit leistungsstarken Automatisierungswerkzeugen, die eine automatische Layer-by-Layer-Steuerung und Prozesskonsistenz bieten. LAM RESEARCH FLEX DS-Systeme sind in verschiedenen Größen und Konfigurationen erhältlich, um den spezifischen Anforderungen verschiedener Anwendungen gerecht zu werden. Seine Prozesstechnologien wurden entwickelt, um die anspruchsvollsten Anforderungen der Strukturierung und Abscheidung für hohe Erträge und Gleichmäßigkeit zu erfüllen. Das FLEX DS-System wurde in mehrere Produktionsverfahren auf industrieller Ebene integriert und bietet Kunden zuverlässige, wiederholbare Hochleistungslösungen für die Geräteherstellung.