Gebraucht LAM RESEARCH FLEX DS #293642654 zu verkaufen

LAM RESEARCH FLEX DS ist ein vielseitiger und zuverlässiger Ätzer/Ascher, der den Anforderungen der Halbleiterherstellung gerecht wird. Es verwendet eine Dual Source-Technologie, um das Ätzprofil und die Gleichmäßigkeit der Abscheidung über das Substrat zu optimieren. Diese Technologie nutzt zwei separate Quellen für Ionenbeschuss und Ionenstrom, um Gleichmäßigkeit und hohe Leistung zu gewährleisten. FLEX DS verfügt auch über eine unabhängige Chuck-to-Wafer-Distance (CWD) -Ausrüstung, die eine dynamische Kontrolle der Prozesstemperatur und des Drucks während des Ätzvorgangs ermöglicht. Dadurch entfällt die manuelle Anpassung und es werden genaue Ätzergebnisse gewährleistet. Der Druck ist zwischen 0,5 bar und 10 bar einstellbar und die Temperatur zwischen 25C und 600C einstellbar. Das System nutzt eine chemische Abgabeeinheit, um die Konzentration der induktiv gekoppelten Plasma- (ICP) Ätz- oder Aschechemie genau zu steuern. Diese Präzision ermöglicht ein optimiertes Ätzergebnis ohne den Einsatz von Maskierungsschichten. LAM RESEARCH FLEX DS ist mit fortschrittlichen Diagnosewerkzeugen ausgestattet, die eine hohe Genauigkeit bei der Kontrolle und Optimierung von Ätz- oder Ascherergebnissen ermöglichen. Diese Tools liefern einen umfassenden Bericht über den Echtzeitprozess, der die Optimierung des Prozesses ermöglicht. Seine fortschrittliche Kühlmaschine ermöglicht hohe Ätzraten in langen Bearbeitungszeiten. Das Werkzeug ist für eine einfache Wartung mit einer vollständig geschlossenen Basiseinheit ausgelegt. Dies ermöglicht einen schnellen Zugriff auf alle wichtigen Asset-Komponenten und maximiert so die Verfügbarkeit und Effizienz des Modells. FLEX DS Ätzer/Ascher ist ideal für die halbleiterbasierte Materialbearbeitung. Es ist eine zuverlässige und kostengünstige Lösung für Ätz- oder Ascheprozesse, die eine hohe Präzision und Genauigkeit erfordern. Sein benutzerfreundliches Design, hocheffiziente Komponenten und fortschrittliche Diagnosewerkzeuge machen es zum idealen Werkzeug für die anspruchsvollsten Prozesse.