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LAM RESEARCH FLEX DS
ID: 9270877
System.
LAM RESEARCH FLEX DS ist ein Ätzer/Ascher für erweiterte Prozessintegration und Benutzerflexibilität. Diese Ausrüstung ist eine innovative und wirtschaftliche Lösung zur Schaffung kritischer, hochwertiger Strukturen auf Substraten wie Silizium, Glas, Quarz, Metallen usw. FLEX DS verfügt über ein hochmodernes Kammerdesign, das eine enge Prozesskontrolle und maximale Flexibilität bietet, indem Anwender Prozessrezepte auf ihre spezifischen Bedürfnisse basierend auf dem verwendeten Substrat und dem gewünschten Ergebnis anpassen können. Das System ist mit einer 5-dimensionalen in-situ Prozesssteuerung ausgestattet, die sicherstellt, dass Prozesse korrekt und mit konsistenten Ergebnissen ausgeführt werden. Die ausgezeichnete Gleichmäßigkeit des Ätz- und Ascheprozesses führt zu einer präzisen Maßkontrolle, die den Anwendern die ideale Balance zwischen Qualität und Wiederholbarkeit bietet. Auch Druckstabilität und Kammerreinheit sind gewährleistet, was langfristige, zuverlässige, saubere Prozessergebnisse ermöglicht. Dieser leistungsstarke und wirtschaftliche Ätzer/Ascher ist aus hochwertigen Komponenten wie einem fortschrittlichen Quarzduschkopf, einer Fünf-Bogen-Verschlussmaschine und einer fortschrittlichen ultrazuverlässigen Vakuumpumpe aufgebaut. Die Leistung der Vakuumpumpe wird überwacht, um eine präzise Prozesssteuerung zu gewährleisten und die Langlebigkeit der Pumpe zu optimieren. LAM RESEARCH FLEX DS bietet auch schnelle Anlaufzeiten und hervorragende Wafer-Ladefunktionen. Dieses Werkzeug ermöglicht eine flexible Fertigungsplanung, da die Kammern hoch- oder heruntergefahren werden können. Darüber hinaus verfügt FLEX DS über austauschbare Kammern, die bei Bedarf ausgetauscht werden können. Die Kombination dieser leistungsstarken Funktionen macht LAM RESEARCH FLEX DS zu einer idealen Lösung für jede Ätz- oder Ascheanwendung. FLEX DS ist mit Blick auf Sicherheit und Benutzerfreundlichkeit konzipiert. Die Anlage umfasst eine geschlossene Ätz-/Aschekammer, ein Autofokusmodell, das den Fokus der Optik automatisch überwacht, und eine Programmable Logic Control (SPS), die für automatisierte Sicherheitsfunktionen und eine intuitive Bedienung ausgelegt ist. Zusammenfassend ist LAM RESEARCH FLEX DS ein leistungsstarker und wirtschaftlicher Ätzer/Ascher, der schnelle Anlaufzeiten und präzise Prozesskontrolle bietet. Dieses Gerät ist für alle Anwendungen ausgelegt, die ein Ätzen und Aschen erfordern, und bietet eine flexible Lösung für jeden Bedarf. Die Sicherheitsmerkmale, das benutzerfreundliche Design und die austauschbaren Kammern machen FLEX DS zu einer effizienten und zuverlässigen Wahl für jedes Projekt, das ein Ätzen oder Aschen von Substraten erfordert.
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