Gebraucht LAM RESEARCH FLEX DS #9271261 zu verkaufen

LAM RESEARCH FLEX DS ist ein Ätzer/Ascher zur Herstellung von Halbleiterschaltungen. Mit reaktiven Ionen und fortgeschrittenen Ätz- und Reinigungstechniken erzeugt es geätzte Muster der gewünschten Merkmale auf Substraten. Es bietet auch eine Vielzahl von Abscheidungstechniken für die Bildung von dielektrischen Schichten und die Abscheidung von Barriere/Körner Metalle, Haftschichten, Dielektrika, Barrierefolien und mehr. FLEX DS ist mit einer fortschrittlichen Dual-Source und Dual-Frequenz-Plasmaquelle ausgestattet, die angepasst werden kann, um optimale Ätz- und Abscheidungsprozesse und Ergebnisse zu liefern. Es verfügt auch über einen Mehrfrequenz-Betriebsmodus, so dass verschiedene Prozessrezepte für verschiedene Arten von Substraten und Auftragszuweisungen verwendet werden können. Das Gerät ist mit einer Vielzahl von Rezeptparametern ausgelegt, um eine enge Prozesskontrolle und eine hohe Präzision zu gewährleisten. LAM RESEARCH FLEX DS Ätzer beinhaltet ein Kammerüberwachungssystem, um eine gleichmäßige Ätzung in Quell- und Zielbereichen zu gewährleisten. Es wird mit einer patentierten Edge-Detection Unit geliefert, die automatisch Ätzschritte an den Kanten der Substrate erkennt und eliminiert. Die fortschrittliche Sensorik sorgt auch für geringe Partikelretention und Waferschäden. Der Ätzer ist äußerst vielseitig einsetzbar und umfasst mehrere Verfahrenstypen für Trocken- und Nassätzen, Abscheiden, Tiefätzen, Photoresistätzen, plasmaverbesserte chemische Dampfabscheidung (PECVD) und Barrierefilmätzen. Es kann auch eine Vielzahl von Substraten wie Silizium, GaAs, Saphir, Glas und andere Materialien behandeln. FLEX DS verfügt auch über eine intern entwickelte Maschinenarchitektur mit einer fortschrittlichen benutzerfreundlichen Oberfläche, die eine einfache Werkzeugsteuerung und Rezept-Management ermöglicht. Um die Effizienz und Produktivität der Anlage zu maximieren, wurde der LAM RESEARCH FLEX DS etcher für eine einfache Wartung, Prozessüberwachung und Integration in bestehende Fabrikmanagement- und Produktionskontrollsysteme konzipiert. Es bietet eine dynamische Statusüberwachung der Ausrüstung, detaillierte Durchsatz- und Ertragsdaten sowie anpassbare Chargenberichte. Darüber hinaus umfasst der FLEX DS-Ätzer ein fortschrittliches Flottenmanagementmodell, das eine automatisierte Ressourcenzuordnung ermöglicht. Dies reduziert den Zeitverlust durch manuelle Entscheidungsfindung. Zusammenfassend ist LAM RESEARCH FLEX DS ein hochentwickelter Ätzer/Ascher, der für die Herstellung von Halbleiterschaltungen entwickelt wurde. Es ist mit Dual-Source und Dual-Frequenz-Plasmaquellen ausgestattet, die verbesserte Ätz- und Abscheidungsprozesse ermöglichen. Die Ausrüstung umfasst auch eine Vielzahl von Parametern, ein Überwachungssystem, eine Kantenerkennungseinheit, verschiedene Prozessarten, eine Flottenmanagementmaschine und kundenspezifisches Reporting. All diese Eigenschaften machen FLEX DS zu einer idealen Lösung für Unternehmen, die zuverlässige und effiziente Halbleiterätz- und -veraschungsfunktionen benötigen.