Gebraucht LAM RESEARCH FLEX DS #9311091 zu verkaufen

LAM RESEARCH FLEX DS ist ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher, der speziell entwickelt wurde, um einen hohen Durchsatz und eine präzise Ätzung über eine Vielzahl von Halbleitermaterialien zu gewährleisten. FLEX DS unterstützt fortschrittliche Ätzprozesse wie Dampfätzen, Trockenätzen, Oxidätzen und Oxidaschen. Zur Optimierung der Prozessleistung wird LAM RESEARCH FLEX DS mit einem präzisen Etch Proximity Sensor Modul entwickelt, das die Qualität der geätzten Oberflächen ständig überprüft. Das System ist in der Lage, bis zu 600 mm Wafer zu handhaben, während die Prozesskammer aus Edelstahl gefertigt ist, seine thermischen Isolationsfähigkeiten verbessert und eine effiziente und genaue Temperaturregelung ermöglicht. Alle kritischen Prozesse werden vom Kammerdruckregler und den im System eingebetteten Prozesssteuerungsalgorithmen in Echtzeit überwacht. Um einen konsistenten und wiederholbaren Prozess zu gewährleisten, ist jeder FLEX DS mit Gas Ratio Control ausgestattet, einem Merkmal, das die Gas/Dampf-Zusammensetzung des Ätzschachtes beibehält. LAM RESEARCH FLEX DS verfügt über einen High-Tech-Duschkopf, der die Ablehnungsrate der zu ätzenden Materialien optimiert, während seine fortschrittliche kinetische Plasmatechnologie eine überlegene Ätzauflösung und -leistung bietet. Die neue Fuzzi-Free-Technologie verbessert die Gleichmäßigkeit des Ätzens, indem Fuzzy-Kanten eliminiert und einfallende Winkelschwankungen während des Ätzprozesses eliminiert werden. Um konsistente Ergebnisse zu gewährleisten, ist FLEX DS mit einer patentierten Impulsgasvorbehandlung ausgestattet, die eine überlegene Ätzleistung garantiert. Für Sicherheit und Homogenität ist LAM RESEARCH FLEX DS zudem mit einem einzigartigen Plasmazündgerät ausgestattet, das an unterschiedliche Energieeinstellungen des Plasmas angepasst werden kann. Zusätzlich ist FLEX DS mit einem intelligenten SIF-Haltedeckel versehen, der die Integrität des Plasmas vor und nach jedem Ätzzyklus gewährleistet. Der Deckel fungiert auch als Sicherheitsschild und wurde auf bis zu 210 Drehmomentzyklen pro Minute getestet. LAM RESEARCH FLEX DS ist eine ideale Ätz-/Ascherlösung für alle Arten von Submikron- und Low-K-Dielektrizitätsätzen. Mit seiner fortschrittlichen Technologie bietet FLEX DS optimale Leistung und hervorragende Ätzerträge.