Gebraucht LAM RESEARCH FLEX DS #9315257 zu verkaufen

LAM RESEARCH FLEX DS ist ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher, der für hohe Durchsatz- und Prozesskonsistenz konfiguriert ist. Es ist auf die Bedürfnisse kleiner Forschungsprojekte ausgerichtet und eignet sich für Anwendungen wie Plasmaoberflächenbehandlung, Etchback, Oxidätzen und chemische Dampfabscheidung. FLEX DS nutzt eine große Prozesskammer und verfügt über ein proprietäres Drei-Zonen-Gasfördersystem, das speziell entwickelt wurde, um ein gleichmäßiges, isotropes Ätzen zu ermöglichen, um akustische, optische und elektronische Strukturen zu schaffen. Die Prozesskammer bietet auch eine breite Palette von Plasmaleistungsdichte, ermöglicht hocheffiziente Ätzraten und präzise Schichttiefensteuerung. LAM RESEARCH FLEX DS verfügt über eine sehr niedrige Partikelerzeugungsrate und eignet sich daher für Anwendungen, die sehr hohe Sauberkeit erfordern, wie die Herstellung medizinischer Geräte. Darüber hinaus ermöglichen das automatisierte Steuerungssystem und die integrierte Software eine einfache Optimierung von Rezepturen für bestimmte Substrate und Prozessbedingungen. FLEX DS verwendet eine Isolationstechnologie, um den hohen Prozessdruck zu enthalten und Wärmedrucke auf Substraten zu minimieren. Diese Isolationstechnologie soll das Kammerinnere effizient stabilisieren und Schwankungen in Temperatur, Leistungsdichte und Druck reduzieren, was sich nachteilig auf den Ätz- oder Aschevorgang auswirken kann. LAM RESEARCH FLEX DS hat einen einfachen, modularen Aufbau, der eine einfache Wartung und Fehlerbehebung ermöglicht, um Ausfallzeiten zu reduzieren. Die Prozesskammer kann ohne Werkzeug geöffnet werden, und sie behandelt sicher gefährliche Gase mit chemischer Zufuhr und Abgasevakuierung in der Kammer. Das System verfügt auch über ein integriertes Diagnoseprogramm, um mögliche Leistungsprobleme zu erkennen, bevor sie kritisch werden. Insgesamt ist FLEX DS ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher mit der Fähigkeit, eine Vielzahl von Prozessen mit präziser Steuerung und ausgezeichneter Leistung durchzuführen. Es ist hocheffizient, zuverlässig und sicher und dient den Bedürfnissen von Forschungsprojekten.