Gebraucht LAM RESEARCH FLEX DS #9351457 zu verkaufen

LAM RESEARCH FLEX DS ist eine vollständig integrierte Trockenätz-/Ascheausrüstung, die speziell für fortgeschrittene Halbleiterverarbeitungsanwendungen entwickelt wurde. FLEX DS-System liefert hohe Gleichmäßigkeit, Wiederholbarkeit und Durchsatz, um die geringstmögliche Verschwendung zu gewährleisten und gleichzeitig die höchste Ausbeute an Geräteproduktion zu erhalten. Die Einheit ist eine modulare Einheit, die mehrere Prozessabläufe mit Gleichmäßigkeit und Wiederholbarkeit über jedes Werkstück liefern kann. Es ist für optimale Geräteausbeute und Produktivität konzipiert und liefert überlegene Ergebnisse in den anspruchsvollsten Lithographie- und Abscheidungsprozessen. Die Maschine verfügt über ein fortschrittliches Ätzkammerdesign, das einen kompakten Platzbedarf, eine verbesserte thermische Gleichmäßigkeit, einen erhöhten Durchsatz und optimierte Prozessparameter bietet. Die Kammer ist mit zwei integrierten 3D-induktiv gekoppelten Plasmaquellen (ICP) ausgestattet, die eine überlegene Abdeckung über mehrere Wafersubstrate bieten. Der Substratträger ist ebenfalls hoch einstellbar, so dass unterschiedliche Substratgrößen und -formen verwendet werden können. Das Tool ist in der Lage, vier unabhängige Ätz- und drei Abscheideprozesse in einer Sequenz zu liefern, was die Prozesszykluszeit reduziert und den Gesamtdurchsatz verbessert. LAM RESEARCH FLEX DS asset verfügt zudem über Direktantriebsmotortechnologie zur hochpräzisen, wiederholbaren Bewegungssteuerung über das gesamte Werkstück. Dadurch wird die Gleichmäßigkeit der Ätzrate, die Gleichmäßigkeit der Abscheidung und die Gleichmäßigkeit der Haftung gewährleistet. Darüber hinaus ist das Modell mit fortschrittlichen Messtechnik und Feedback-Kontrollsystemen ausgestattet, die sowohl Ätz- als auch Abscheiderate in Echtzeit messen und steuern. Dadurch kann der Anwender die optimalen Prozessparameter für das Werkstück auswählen, um konsistente Ergebnisse zu gewährleisten. Die integrierte Gasversorgungseinrichtung bietet zudem eine präzise Gasverhältnisregelung und die Möglichkeit, verschiedene Gasgemische und -konzentrationen einzuspritzen. FLEX DS ist ein komplettes Ätz-/Aschesystem, das für eine fortschrittliche Halbleiterverarbeitung entwickelt wurde und überlegene Leistung und Zuverlässigkeit bietet. Es ist eine kostengünstige Lösung für die hochdichte Geräteherstellung, die optimierte Geräteausbeute und Produktivität gewährleistet.