Gebraucht LAM RESEARCH FLEX DS #9401893 zu verkaufen

LAM RESEARCH FLEX DS (früher „FLEX Asher“ genannt) ist eine fortschrittliche Ätz-/Aschelösung, die präzise, wiederholbare Ergebnisse für eine breite Palette von Ätz- und Ascheanwendungen liefert. Diese von LAM RESEARCH entworfene und hergestellte Plattform nutzt fortschrittliche Steuerungstechnologien, um sicherzustellen, dass einzelne Prozessmodule innerhalb strenger Prozessparameter konsistent arbeiten. Dies ist eine kritische Fähigkeit in Anwendungen wie Halbleiter-, Speicher- und Photomasken-Bauelementfehleranalyse, da sie die Chancen auf kostenintensive Ausfälle durch inkonsistentes Ätzen oder Aschen eliminiert. FLEX DS ist eine weit konfigurierbare Plattform, die eine Fähigkeit bietet, Anwendungen zu unterstützen, die von HF-Sputtern bis hin zu Hochleistungs-Plasma-Ashing reichen. Es ist entworfen, um mit einer breiten Palette von Substraten zu arbeiten, aus einer breiten Palette von Materialien. Es bietet eine schnelle Umstellung, einen 16-Positionen-Suszeptor und eine Waferplatte für die Waferkassette auf das Kassettenladen und eine automatisierte Prozesserkennung, um sicherzustellen, dass benutzerdefinierte Rezepte auf verschiedene Materialien, Dicken und Materialien zugeschnitten werden können. Die Plattform verwendet automatisierte Prozessoptimierungstechnologie von LAM RESEARCH, um ein Höchstmaß an Prozessoptimierung und Wiederholbarkeit zu gewährleisten. Die automatisierte Prozessoptimierungstechnologie verwendet proprietäre Algorithmen, um die Prozessparameter in Echtzeit genau zu überwachen und zu steuern. Dies erleichtert die Feinabstimmung der Ätz- oder Ascheprozesse und ermöglicht den Anwendern höchste Präzision. LAM RESEARCH FLEX DS unterstützt auch fortschrittliche Reinigungslösungen. Das automatisierte Reinigungs- und Trocknungssystem sorgt für Sauberkeit der Oberflächen, so dass Wafer leichter und schneller in ein anderes Modul überführt oder nach der Verarbeitung aufbewahrt werden können. Die Plattform integriert Diagnosen in das System und ermöglicht eine zuverlässige und effiziente Fehlerbehebung bei jedem Prozessproblem. Prozessprotokolle werden auf dem System gespeichert und verifiziert, um sicherzustellen, dass alle Ausgänge rückverfolgbar und zuverlässig sind. Neben diesen Kernfunktionen bietet die FLEX DS Plattform auch Flexibilität und Vielseitigkeit. Dazu gehören multifunktionale Module, programmierbare Bewegungsabläufe und Waferübertragungen für die mehrstufige Verarbeitung sowie softwaregesteuerte Parametereinstellungen für maximale Prozessoptimierung in hochkomplexen Anwendungen. Mit diesen Eigenschaften ist LAM RESEARCH FLEX DS ideal für Forschungs-, Entwicklungs- und Produktionsanwendungen in der Halbleiter-, Speicher- und Photomasken-Geräteausfallanalyse.