Gebraucht LAM RESEARCH Flex FS #9284287 zu verkaufen

LAM RESEARCH Flex FS Asher (Etcher) ist eine fortschrittliche, flexible Ätz- und Reinigungsausrüstung zur effizienten Entfernung und Reinigung von Ätz- und Photoresist, allgemeinem Resist, Polymer und anderen Dünnschichtablagerungen. Das neue System wurde entwickelt, um deutlich niedrigere Lieferzeiten und Prozesswiederholbarkeit mit überlegenen Problemen und Funktionssicherheit zu erreichen. Das patentierte Design minimiert die Trümmer- und Prozessleistung, die im Laufe der Zeit verbessert und aufrechterhalten werden kann, und bietet höchste Durchsatz- und Werkzeugauslastung. Flex FS Asher bietet ein zweimotoriges Motordesign mit überlegener Gleichmäßigkeit und Prozesskonsistenz. Das Gerät ist mit einer proprietären hochauflösenden, hochdichten Bildverarbeitungsmaschine integriert, die eine fortschrittliche In-situ-Echtzeit-Profilüberwachung ermöglicht. Weitere Merkmale sind erweiterte Hochstromsteuerung, hocheffiziente magnetische Kompressoren, Bordsteuerungen für die Abscheidung, Ätzung und Hochleistungsabscheidung und -reinigung, automatische Probenahme und andere Optionen. Die klar definierte modulare Architektur von LAM RESEARCH Flex FS bietet Kunden mehr Flexibilität in Bezug auf Strategien, mit der Fähigkeit, bei Bedarf auf erweiterte Chemien und Prozesse zu aktualisieren. Das Tool bietet, die für Spitzenkonstruktionen angepasst werden können. Der einzigartige Asset-Architekt von Flex FS Asher ermöglicht hocheffiziente, zuverlässige und wiederholbare Prozesse für höchsten Durchsatz und Zuverlässigkeit. Seine Flexibilität trägt auch dazu bei, die Herstellungskosten zu senken, da das LAM RESEARCH Modell viele komplexe Ätzrezepte mit weniger Schritten durchführen kann. Mit der integrierten Überwachung können Sie schnell die Einheitlichkeit von Prozessen analysieren, Ergebnisse vergleichen und mögliche Probleme frühzeitig im Fertigungsprozess erkennen. Durch die Optimierung des Pulsdesigns minimiert LAM RESEARCH Flex FS Asher Schäden an Substraten, minimiert die Auswirkungen statischer Aufladung, reduziert Prozessvariationen und verbessert die Reinigung mit rezeptgesteuertem Hochspannungspulsplasma. Das Gerät wurde entwickelt, um gemusterte Photoresists, Polymere und andere Filme zu entfernen, darunter solche mit einer Größe von bis zu 180 nm, ohne Vorwärts- und Rückwärtsvorspannung einzuführen. Flex FS Plasmasystem eliminiert die Notwendigkeit für raue chemische Bäder oder Hochdruckspülung, Zeit und Ressourcen zu sparen. LAM RESEARCH Flex FS ist eine fortschrittliche Ätzeinheit, die die strengsten Anforderungen für eine schnelle und kostengünstige Verarbeitung fortschrittlicher Geräte erfüllt. Durch Rationalisierung des Ätzprozesses, Beschleunigung der Markteinführungszeit und hohe Gleichmäßigkeit optimiert die FS Asher-Maschine die Geräteproduktion für optimalen Ertrag und Time-to-Market.