Gebraucht LAM RESEARCH FLEX FX EFEM #9270663 zu verkaufen

LAM RESEARCH FLEX FX EFEM ist ein leistungsstarker, großflächiger Ätzer/Ascher, der eine präzise und zuverlässige Verarbeitung ermöglicht. Es verfügt über eine mehrachsige, geschlossene Schleifenbewegungsausrüstung mit schnellen, niedrigen Trägheitsstufen, die eine hohe Durchsatzverarbeitung und einen flexiblen Betrieb mit wiederholbaren Ergebnissen ermöglicht. Das einzigartige Design des Systems ermöglicht eine große Auswahl an Zielen und kürzere Zykluszeiten. FLEX FX EFEM wird mit einem Mehrzonen-Gaspanel und zwei Trennschieberventilen geliefert, um schnelle und genaue Ätz- und Ascheschritte zu ermöglichen. Mit Niederdruck-Hochfrequenzgeneratoren (LP-RF) ausgestattete Plasmaquellen erzeugen Magnetfelder, die mit Gasspezies interagieren und ein Plasma erzeugen. Mit diesem Plasma werden dann organische und anorganische Materialien von der Oberfläche des Targetsubstrats entfernt oder modifiziert. Das Gerät wird auch mit einem hochauflösenden In-situ-Monitor geliefert, der die Materialänderung in den verschiedenen Ätz- und Aschezonen messen kann. Dieser Monitor basiert auf der On-Wafer-Spektroskopie und ermöglicht ein Echtzeit-Feedback zum Fortschritt des Prozesses. Zusätzlich überprüft eine Vorwärtsansicht optische Kameramaschine den Zustand des Substrats, um eine präzise Übertragung und Ausrichtung des Substrats auf das Ziel zu gewährleisten. Die Prozesskammer umfasst eine umfassende Rezeptur für das Ätzen und Aschen sowie ein überlegenes Werkzeug zur Gleichmäßigkeitskontrolle. LAM RESEARCH FLEX FX EFEM bietet auch eine variable Kammer- und Stufendruckregelung sowie eine fortschrittliche Temperaturregelung für die Etch- und Ascherkammern und bietet optimale Bedingungen für eine Vielzahl von Materialien. Mit seinem schnellen, präzisen und wiederholbaren Betrieb ist FLEX FX EFEM ein leistungsstarkes Werkzeug zur Kostenreduzierung und Verkürzung der Fertigungszeiten. Das geschlossene Bewegungssteuerungsmodell und die umfassende Rezeptbibliothek sorgen dafür, dass Prozesse optimiert und sorgfältig überwacht, die Erträge gesteigert und Fehler reduziert werden können. Mit einem hochkonfigurierbaren Design und erweiterten Steuerungsfunktionen ist LAM RESEARCH FLEX FX EFEM das perfekte Werkzeug für Ätz- oder Aschebearbeitungsanwendungen.