Gebraucht LAM RESEARCH Flex Fx #9270876 zu verkaufen

LAM RESEARCH Flex Fx (Ätzer/Ascher) ist ein Schritt voraus in der Asche- und Ätzfähigkeit für die Halbleiterindustrie. Die kompakte Stellfläche und die Vielzahl an Konfigurationen machen es zu einer Wahl für viele verschiedene Integrationsszenarien. Flex Fx ist für Präzision und Gleichmäßigkeit beim Ätzen und Aschen von Oxidschichten konzipiert, unter Beibehaltung der engen Prozess- und Temperaturregelung, die für die genaue Optimierung der Lithographie und der fortgeschrittenen Gerätebildung entscheidend ist. LAM RESEARCH Flex Fx ist speziell für hohe Serienproduktion konzipiert und bietet einen beispiellosen Durchsatz mit einer breiten Palette von HF-Chemien. Die Quellmaterialien des Ätzers/Aschers sind sowohl in Lastverriegelungs- als auch in Festinstallationskonfigurationen verfügbar, was eine hohe Flexibilität bei verschiedenen Substratarten ermöglicht. Der leistungsstarke HF-Generator bietet eine hocheffiziente Plasmasteuerung für präzise Prozessabstimmung. Der N2/O2/He Gasring sorgt für eine gleichmäßige, enge Prozesssteuerung. Das geschlossene Gasquellensystem hält außerdem einen stabilen Druckausgleich und Gasfluss aufrecht, um stabile Prozessergebnisse zu gewährleisten. Flex Fx kommt mit einer großen Klarsichtkammer, die bis zu sechs 8-Zoll-Wafer unterstützt und maximale Verarbeitungseffizienz bietet. Ein speziell entwickelter Top-Schutzring hilft, die Oberseite der Kammern für eine bessere Zuverlässigkeit und Wiederholbarkeit abzuschirmen. Das Gerät verfügt außerdem über zwei optionale CoolPAS-Liefersysteme, die Prozessflexibilität und Wiederholbarkeit erhöhen. LAM RESEARCH Flex Fx bietet zuverlässige und wiederholbare Prozesse mit der Geschwindigkeit und Genauigkeit, die für die heutigen anspruchsvollen Halbleiterprojekte erforderlich sind. Seine robuste Konstruktion und High-End-Funktionen machen es ideal für jede Entwicklungs- oder Produktionsumgebung.