Gebraucht LAM RESEARCH Flex Fx #9311093 zu verkaufen

LAM RESEARCH Flex Fx ist ein fortschrittlicher, mehrstufiger Ätzer/Ascher für flexible Substrate wie Polyimid, Oxid, Metall und Glas. Sein einzigartiges Design ermöglicht es Benutzern, eine Vielzahl von Materialien zu ätzen und/oder zu aschen, einschließlich Al, Ga und Si mit einer einzigen Kammer. Flex Fx ist mit einer Mehrzonen-Plasmaquelle ausgestattet, die eine unabhängige Steuerung der Art des Ätzens oder Aschens sowie eine präzise Einstellung und Einstellung der Ätz-/Aschespannung, der Strom- und Gaschemie ermöglicht. LAM RESEARCH Flex Fx verfügt zudem über ein automatisiertes „SmartMow“ System zur kritischen Musterregistrierung und -ausrichtung. Flex Fx verfügt über eine integrierte Zwei-Zonen-thermische Verarbeitungsfähigkeit. Die Heizzonen, ergänzt durch Bypass-Kühlfähigkeit, können Temperaturrampenraten bis zu 20 ° C/Sekunde erreichen, was zeitkritische Prozesse wie Hochfrequenzätzen und Orientieren von Substraten ermöglicht. Die extrem schnellen Abklingraten ermöglichen es, mehrere Abscheideprozesse in schneller Folge durchzuführen. Der Anwender hat auch die Möglichkeit, die Rampenrate für bestimmte Prozessanforderungen zu überschreiben. LAM RESEARCH Flex Fx verfügt über eine Reihe von Ladungsbegrenzern, um sicherzustellen, dass eine Probe einer angemessenen, gleichmäßigen Verteilung der Leistung unterworfen wird und einheitliche, qualitativ hochwertige Ätz-/Ascheergebnisse liefert. Es ist auch mit einem fortschrittlichen, feldabhängigen Gasverteilungssystem ausgestattet, das von einem LCD-Panel auf zuverlässige Leistung überwacht wird. Flex Fx kommt mit einem umfassenden Softwarepaket, einschließlich einer intuitiven, grafischen Benutzeroberfläche. Der Benutzer kann die Steuereinheit programmieren, um benutzerdefinierte Rezepte durchzuführen, während die Automatisierungsfunktionen das automatische Umschalten zwischen Ätz- und Ascheprozessen ermöglichen. LAM RESEARCH Flex Fx ist auch mit mehreren Netzwerkprotokollsystemen kompatibel und gewährleistet eine nahtlose Integration mit anderen automatisierten Geräten. Abschließend ist Flex Fx ein fortschrittlicher, mehrstufiger Ätzer/Ascher, der sich ideal für qualitativ hochwertige Ergebnisse auf flexiblen Substraten eignet. Seine erweiterten Funktionen ermöglichen eine präzise Kontrolle über Ätz-/Ascheparameter, während seine integrierten Automatisierungsfunktionen eine schnelle Prozessumschaltung und einen schnellen Durchsatz ermöglichen.