Gebraucht LAM RESEARCH G3D #293637257 zu verkaufen

LAM RESEARCH G3D
Hersteller
LAM RESEARCH
Modell
G3D
ID: 293637257
Weinlese: 2012
Asher (3) Load ports MF Chamber 2012 vintage.
LAM RESEARCH G3D (früher Varian G3D) ist ein fortschrittlicher Ätzer und Ascher für High-End-Halbleiterherstellungsprozesse. LAM RESEARCH G3D ist eine große Maschine, die in der Lage ist, kleine bis mittelgroße Substrate zu ätzen, zu aschen und zu reinigen und gleichzeitig einen dünnen Materialfilm mit hohem Durchsatz abzuscheiden. Es verfügt über einen fortschrittlichen Dual-Magnetron-Prozess mit hoher Prozessgleichmäßigkeit und Zuverlässigkeit. G3D verfügt über eine Reihe von Merkmalen, die eine qualitativ hochwertige Herstellung von Halbleiterchips gewährleisten. Eine volle Vakuumausrüstung sorgt dafür, dass Wafer oder Substrate keinen Verunreinigungen oder anderen Elementen ausgesetzt sind, die die Chips beschädigen könnten. Darüber hinaus verfügt es über ein robustes Prozessleitsystem mit einer Vielzahl von vom Benutzer konfigurierbaren Einstellungen und einer hochreaktionsfähigen Reaktivitätssteuereinheit. LAM RESEARCH G3D verfügt auch über zwei Hochtemperatur-Heizzonen, die es ermöglichen, verschiedene Arten von Materialien schnell zu verarbeiten, einschließlich Verbundhalbleiter- und Dünnschichtmaterialien. Eine variable Druckätzkammer ermöglicht es, empfindlicher zu ätzen, während die große Vakuumkammer die Möglichkeit von „Filtereffekten“ reduziert. Der schnelle Durchsatz und die hochwertige Produktion von G3D machen es ideal für die Halbleiterherstellung. Es eignet sich auch für eine breite Palette von anderen Prozessen, wie die in der Display, MEMS und LED-Industrie. Darüber hinaus bietet LAM RESEARCH G3D aufgrund seiner hocheffizienten Plasmaätz- und Aschefunktionen eine kostengünstige Lösung. G3D verfügt außerdem über mehrere Sicherheitsmerkmale, die die Betreiber vor potenziell gefährlichen Situationen schützen sollen. Es verfügt über eine integrierte Sicherheitsmaschine, die alle vom Benutzer konfigurierbaren Parameter überwacht und die Betreiber über jede Änderung dieser Einstellungen informiert, wodurch fehlerhafte Einstellungen oder Prozessfehler verhindert werden. Zur Warnung vor gefährlichen Druckschwankungen in der Kammer ist auch ein Niederdruckalarmierwerkzeug vorgesehen. Insgesamt ist LAM RESEARCH G3D ein fortschrittlicher Ätzer und Ascher mit einem hohen Maß an Leistung und Zuverlässigkeit. Es bietet eine effektive Lösung für die Halbleiterherstellung und andere Industriezweige mit einer Vielzahl von anwenderkonfigurierbaren Einstellungen, zwei Hochtemperatur-Heizzonen und einer alarmierenden Ressource für Niederdruck. G3D eignet sich für eine Reihe von Prozessen, die eine kostengünstige und qualitativ hochwertige Produktion gewährleisten.
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