Gebraucht LAM RESEARCH Gamma XPR #9365950 zu verkaufen
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ID: 9365950
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2014
Etcher, 12"
Does not include RF generator
2014 vintage.
LAM RESEARCH Gamma XPR ist ein Ätzer/Ascher für Halbleiterprozesse. Dieses leistungsstarke, kostengünstige Gerät verfügt über eine breite Palette von Funktionen und Vorteilen, die es ideal für Halbleiterherstellungsprozesse im Unterhaltungselektronikmarkt machen. Das System nutzt eine patentierte LAM-spezifische Ätzchemie, um exakt in Hochformatverhältnisse, tiefe Gräben und hochauflösende Funktionen mit präzisen Seitenwandprofilen zu ätzen. Gamma XPR erreicht eine genaue Schrittabdeckung mit Ätzungen von Grabentiefen bis zu 1 Mikron und Seitenwandwinkeln von weniger als 15 Grad. Das Gerät ist mit einer dreiachsigen piezomotorisch angetriebenen Wafer-Handhabungsmaschine ausgestattet, die sowohl hohe Genauigkeit als auch schnellen Durchsatz bietet. Mit diesem integrierten Handling-Tool kann LAM RESEARCH Gamma XPR drei 200 mm oder bis zu sechs 100 mm Wafer gleichzeitig bearbeiten. Darüber hinaus schützt seine einzigartige Bewegungsstruktur vor potenziellen Wafer-zu-Wafer-Verschmutzungen und erzielt so eine sehr zuverlässige Produktausbeute. Gamma XPR wurde mit fortschrittlichen Funktionen auf Asset-Ebene entwickelt, die eine beispiellose Prozesssteuerung bei Ashing-, Ätz- und Sputterprozessen bieten. Seine fortschrittlichen Software-Algorithmen und Diagnosen ermöglichen eine genaue Prozessüberwachung und -kontrolle, was zu konsistenter Prozessleistung von einem Lauf zum nächsten führt. Das Modell verwendet auch die EasyPulse DC-Leistungsfähigkeit von LAM, wodurch die DC-Impulsparameter angepasst werden können, die die Ätztiefenverteilung neigen, um hochgenaue Ätzprofile zu erzielen. Diese Funktion reduziert den Bedarf an zusätzlichen Nachätzprozessschritten und spart so Zeit und letztlich Geld. LAM RESEARCH Gamma XPR etcher/asher unterstützt auch die umfassenden Kundendienstprogramme von LAM und bietet 24/7 technischen Support und aktive Support-Programme, um Ihre Geräte effizient und zuverlässig am Laufen zu halten. Diese Kundendienstprogramme stellen sicher, dass Ihr Ätzer/Ascher zuverlässig und mit Höchstleistung läuft.
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