Gebraucht LAM RESEARCH IGS #9157986 zu verkaufen

LAM RESEARCH IGS (Integrated Geometry Equipment) ist ein geätztes Abscheidungssystem für die Waferbearbeitung. Es kombiniert mehrere Ätz-/Ashing-Technologien in einer einzigen Plattform, um erweiterte gemusterte Ebenen zu erstellen. Die fortschrittliche Prozesssteuerung gewährleistet Materialgleichmäßigkeit und Wiederholbarkeit für kritische Anwendungen. Die IGS-Plattform ist mit einer ACPI-Autoprofil-Steuerung ausgestattet, die nach Musterdichte und Profiländerungen im abgeschiedenen Material sucht und Prozessanpassungen vornimmt, um die Schichtgenauigkeit zu gewährleisten. Es enthält auch eine Hintergrundverstärkungseinheit, die den Ätzvorgang in Bereichen mit einer dichten Menge von Partikeln oder in der Nähe des Bodens der Prozesskammer stoppt. Diese vorbeugenden Wartungsmerkmale optimieren die Ätzgenauigkeit und sorgen für Materialgleichmäßigkeit. LAM RESEARCH IGS Maschine ist auch für mehrstufiges Ätzen konzipiert. Es ermöglicht Benutzern, zusammengesetztes Ätzen mit mehreren Kammerdurchläufen durchzuführen, wodurch komplexe Muster mit wenig Materialmenge erzeugt werden. Es hat auch die Fähigkeit, Ätzschritte zu erkennen und abzubrechen, die komplizierte Konstruktionen oder ungleiche Genauigkeit erfordern, wodurch der Zeitaufwand minimiert wird. Für größere Anwendungen kann IGS entweder mit LAM RESEARCH SMO (Sentry Monitor Oasis) oder ELS-A (Edge Lead Strip Automation) Systemen kombiniert werden. Diese automatisierten Systeme ermöglichen es Benutzern, Ebeneneinschlüsse und Ausschlüsse anzuwenden, um den Anforderungen an die Geräteintegration sowie fortschrittlichen Quellen und Designs gerecht zu werden. LAM RESEARCH IGS bietet auch Prozessnachverfolgbarkeit, so dass Betreiber datengesteuerte Workflow-Verfahren an Kundenspezifikationen anpassen können. Mit dieser Funktion können Benutzer Produktionsdatensätze, Erträge, Trends und Umweltdaten verfolgen. IGS bietet wirtschaftliche und zuverlässige Ätz-/Aschefunktionen, die die fortschrittlichen Muster- und Abscheidungsprozesse für eine Vielzahl kritischer Waferanwendungen erleichtern und eine erfolgreiche Geräteintegration gewährleisten. Seine erweiterten Automatisierungsfunktionen, Prozesssteuerungsfunktionen und das datengesteuerte Rückverfolgbarkeitswerkzeug machen es zu einem unschätzbaren Designwerkzeug.