Gebraucht LAM RESEARCH IGS #9157991 zu verkaufen

LAM RESEARCH IGS ist eine Art Ätzer und Ascher zur Herstellung integrierter Mikro- und Nanoschaltungen. Es ist ein multifunktionaler Ätzer, der zum Ätzen, Reinigen, Sputtern, Ablagern und Waschen von Wafern in einem einzigen Werkzeug entwickelt wurde. IGS verfügt über erweiterte Funktionen wie hohe Ätzpräzision und Gleichmäßigkeit, niedrige Partikelwerte und Überwachung des optischen Zyklus. LAM RESEARCH IGS arbeitet in einer Vakuumkammer, die es dem Ätzer ermöglicht, den Endpunkt des Ätzzyklus zu steuern und die Gleichmäßigkeit zu verbessern. IGS-Ätzer ist in der Lage, bis zu 5.000 sccm Ätzgasstrom zu liefern. Eine ICP-Sputterquelle wird verwendet, um dünne Metallfilme auf der Waferoberfläche abzuscheiden, wodurch eine Verbindungsstruktur entsteht. Die Sputterquelle ermöglicht Ablagerungen auf einer Vielzahl von Materialien wie Aluminium, Titan, Kupfer und Gold. LAM RESEARCH IGS ist mit einer einzigen Wafer-Waschkammer ausgestattet, mit der Fotolack nach dem Ätzen entfernt wird. Der Wafer wird auf die Waschkammer geladen und dann einer Hochtemperatur-Plasmaasche ausgesetzt. Durch dieses Verfahren wird der Photolack entfernt, was ein hochpräzises Ätzen ermöglicht. IGS wurde entwickelt, um eine präzise Steuerung des Ätz- und Ascheprozesses zu gewährleisten. Die Ätzsoftware verfügt über einen Rezept-Editor, mit dem der Benutzer Ätzparameter wie Gasgemisch, Druck, Temperatur und andere Prozessparameter angeben kann. Zur Messung der Ätz- und Ascheprozessparameter, die eine Prozessoptimierung ermöglichen, ist ein Echtzeit-Prozessüberwachungssystem integriert. LAM RESEARCH IGS verfügt über mehrere Sicherheitsfunktionen und Hardware-Controller, um Prozessgenauigkeit und Sicherheit zu gewährleisten. Diese Funktionen bieten Prozessschutzmodus, Not-Aus-Taste und Fehlermelder, die Schäden am System und Wafer verhindern. IGS ist kompakt und mit einem kleinen Fußdruck integriert, so dass es einfach zu installieren und in jeder Laborumgebung zu verwenden. Insgesamt ist LAM RESEARCH IGS ein fortschrittlicher Ätzer mit Funktionen, die Präzisionsätzen und Aschen ermöglichen, Partikel reduzieren und einen hohen Durchsatz erhalten. IGS ist mit zahlreichen Sicherheitsmerkmalen und Instrumenten ausgestattet, die die Integrität und Prozessgenauigkeit des Wafers gewährleisten. Es ist ein ideales Werkzeug zur Herstellung integrierter Mikro- und Nanoschaltungen.