Gebraucht LAM RESEARCH INOVA NEXT #9138133 zu verkaufen

LAM RESEARCH INOVA NEXT ist eine hochmoderne Ätz- und Ascheausrüstung, die für kritische Anwendungen konzipiert wurde, die eine hohe Produktivität, optimale Prozesskontrolle und höchste Qualitätsgenauigkeit erfordern. INOVA NEXT ist perfekt für Halbleiterhersteller, die mehr fortschrittliche Produktionskapazitäten benötigen als je zuvor. LAM RESEARCH INOVA NEXT ist ein vollautomatisiertes und integriertes Ätz- und Aschesystem mit leistungsstarken Funktionen wie Prozessautomatisierung, Präzisionsmesstechnik und Weitblick in die Fensterreinigung und Substratbehandlung. INOVA NEXT bietet einen erhöhten Durchsatz, einschließlich niedriger Zykluszeiten, gleichzeitiges Be- und Entladen und schnelle Kammerübergänge - bis zu 20 Prozent schneller als frühere Modelle. Das innovative Design seiner Prozesskammer reduziert die Partikelerzeugung und das Risiko von Partikelverunreinigungen. Die intelligente Schutzeinheit sorgt für optimale Sauberkeit durch Messung von Schlüsselparametern und Anpassung von Prozessen in Echtzeit. LAM RESEARCH INOVA NEXT verfügt zudem über eine hochwertige Prozesssteuerung und bietet eine Komplettlösung für Ätzprozesse. Es verfügt über eine spezielle Prozessvorschau-Fähigkeit, die simulierte Trockenätzprozesse mit vollständiger Substratcharakterisierung ermöglicht. Dies führt zu einer verbesserten Ausbeute und Prozessoptimierung sowie zu einer höheren Flexibilität bei der Entwicklung und nachgeschalteten Ausbeute. Darüber hinaus ermöglichen die zahlreichen Anschlussmöglichkeiten maximale Integration und Flexibilität bei der Skalierung von begrenzten bis maximalen Clustern. Diese innovative Maschine unterstützt nahtlos GaAs, III-V, Silizium und andere Technologien. INOVA NEXT unterstützt auch den Turbinenbetrieb, der den Zugriff auf die gesamte Palette der auf dem Epi/Metall-Werkzeug verfügbaren Ätzprozesse freischaltet. Dieses Tool ist eine ideale Wahl für Benutzer, die nach dem genauesten und effizientesten Metallätzprozess suchen. Schließlich bietet LAM RESEARCH INOVA NEXT branchenführende Zuverlässigkeit und konforme Abscheidung, die optimale Prozessendpunkte und geringere Wendezeiten ermöglichen. Das einzigartige und robuste Design seiner Komponenten reduziert Ausfallzeiten, während seine fortschrittlichen messtechnischen Funktionen höchste Präzisionsergebnisse gewährleisten. Insgesamt ist INOVA NEXT also die perfekte Wahl für Ätz- und Ascheanwendungen, die zuverlässige Leistung und höchste Präzision erfordern. Mit seinen fortschrittlichen Automatisierungs- und Steuerungsfunktionen, der hochwertigen Prozesssteuerung und -integration sowie der 3D-konformen Abscheidung ist es eine ideale Wahl für viele verschiedene Arten von Halbleiteranwendungen.