Gebraucht LAM RESEARCH Inova #293610305 zu verkaufen

LAM RESEARCH Inova ist ein hochentwickelter Ätzer/Ascher für kritische Ätz- und Trocknungsprozesse. Diese Ausrüstung ist ideal für die fortschrittliche Waferbearbeitung in der Halbleiterindustrie. Sein integriertes Design ist in der Lage, überlegene Leistung mit hohem Durchsatz und überlegene Qualitätskontrolle zu liefern. Inova verfügt über eine leistungsstarke IGI-Stromversorgungssteuerung und robuste Heiz- und Kühlelemente zur präzisen Temperatur- und Leistungsregelung. Die Einheit ist in der Lage, Prozessparameter wie Druck, Reaktionszeit und Temperatur zu steuern, um einheitliche Ätzraten und überlegene Prozesskonsistenz zu gewährleisten. Die integrierte Konstruktion beinhaltet auch einen hochgenauen Massenstromregler zur genauen Messung der kritischen Vorläufergase, die im Ätzprozess verwendet werden und eine Präzision bieten, die zu einer verbesserten Prozessausbeute führt. Neben seinen fortschrittlichen Gaskontrollfunktionen bietet LAM RESEARCH Inova auch eine fortschrittliche Materialauswahl und Sauberkeitskontrolle. Das Advanced Gas Cleanliness Module bietet partikelfreie Prozessgase, die eine unberührte Ätzumgebung und ein zuverlässiges Ätzen von fortschrittlichen Substraten gewährleisten. Die Maschine bietet auch die Möglichkeit, Substrate aus einer Vielzahl von Materialien auszuwählen, so dass der Benutzer den Prozess für verschiedene Geräteanwendungen anpassen kann. Inova wird von umfangreichen Softwarepaketen unterstützt, die Prozessintelligenz bieten, die Datenprotokollierung ermöglichen und die Einrichtung und Überarbeitung von Rezepten erleichtern. Seine intuitive Mensch-Maschine-Schnittstelle (HMI) ist für einfache Bedienung ausgelegt und sorgt dafür, dass die Benutzer über alle Werkzeugaktivitäten auf dem Laufenden bleiben. LAM RESEARCH Inova bietet auch ein APC-Asset (Automated Process Control) an, das eine Echtzeit-Prozessüberwachung, eine enge Prozesssteuerung und wertvolle Informationen für die Prozessoptimierung bietet. Neben einem integrierten hocheffizienten Design ist Inova auch beim Energieverbrauch äußerst effizient. Die Effizienz des Modells wird durch sein vielseitiges Auspuffdesign weiter verbessert, das es Anwendern ermöglicht, ihren ökologischen Fußabdruck an ihre Bedürfnisse anzupassen. LAM RESEARCH Inova ist außerdem darauf ausgelegt, wartungsfreundlich zu sein, Ausfallzeiten zu reduzieren und die Zuverlässigkeit zu verbessern. Neben seinen beeindruckenden Fähigkeiten ist Inova auch äußerst erschwinglich. Sein robustes Design und seine fortschrittlichen Funktionen machen es zu einer kostengünstigen Lösung für jeden Halbleiterätz- und -veraschungsprozess. Mit integriertem Design, fortschrittlicher Prozesssteuerung und Wirtschaftlichkeit ist LAM RESEARCH Inova eine ideale Wahl für Ätz- und Ascheprozesse in der Halbleiterindustrie.