Gebraucht LAM RESEARCH Inova #293610306 zu verkaufen

LAM RESEARCH Inova ist ein modulares Ätz-/Aschesystem für spezifische Ätz- und Ascheprozesse. Es ist eine extrem stabile Plattform, die alle gängigen Ätzprozesse übertreffen kann und eine optimierte Genauigkeit bietet. Inova bietet eine optimale Ätztiefe, verbesserte Auflösung und minimierte Kontamination und eine zuverlässige und langlebige Leistung. LAM RESEARCH Inova ist mit zwei 200-sccm-Hochleistungsgasquellen (He, Ar, N2 und O2), zwei Quarzreaktionskammern und zwei automatisierten Probenhaltern ausgestattet, die volle Flexibilität bei der Probenplatzierung ermöglichen. Es verfügt außerdem über eine zuverlässige Quellenreinigungsfähigkeit mit einem integrierten Hochstrom-Wasserbad, das den Bedarf an chemischen Lösungsmitteln reduziert. Inova verfügt über einen innovativen Etch Predict Controller und eine Software, die eine verbesserte Genauigkeit und Flexibilität bei der Ätzsteuerung bietet. Der Ätzvorhersageregler überwacht kontinuierlich die Ätzrate und passt die Prozessparameter auf höhere Präzision an. Dies ermöglicht höhere Ausbeuten und reduziert Abfall- und Substratschäden. Die Standard-LAM RESEARCH Inova-Module verfügen zudem über ein Multi-Trigger-System, mit dem bis zu fünf unabhängige Ätzprozesse in einem Zyklus aktiviert werden können. Dies macht es ideal für komplexe Ätz-/Ascheanwendungen, die einen hohen Durchsatz erfordern. Die optionale Funktion Collimated Ion Beam Assist (CIBA) ermöglicht eine überlegene Steuerung des Ionenflusses für zeitkritische Beispielanalyseprozesse (SAPs). Neben der fortschrittlichen Ätztechnologie bietet Inova ein umfassendes Sortiment an Sicherheitsfunktionen. Dazu gehören Funktionen wie ein akustischer Schrank, eine Ionenfalle, eine Ionenkammer sowie mehrere Einlass- und Abgasflansche, die das System während des Betriebs sauber und sicher halten. Insgesamt bietet LAM RESEARCH Inova beispiellose Leistung beim Ätzen und Aschen. Mit seinem fortschrittlichen Etch-Predict-Controller und seinen umfassenden Sicherheitsfunktionen ermöglicht Inova Benutzern, einzigartige Ätz-/Ashing-Lösungen zu erstellen, die ihren spezifischen Anforderungen entsprechen.