Gebraucht LAM RESEARCH Inova #293610307 zu verkaufen

LAM RESEARCH Inova ist ein fortgeschrittener Ätzer/Ascher, entwickelt von LAM RESEARCH Corporation. Dieser hochmoderne Ätzer/Ascher ist auf hohen Durchsatz, Präzision und Zuverlässigkeit ausgelegt. Zu den fortschrittlichen Fähigkeiten von Inova gehören Niederspannungssubstratätzen, um niedrige thermische Budgetätzprofile zu erzeugen, Hochdichteplasma (HDP) -Ätzen, um eine überlegene Ätzselektivität zu erzielen, und die gesamte Waferoberflächendeckung, um eine präzise Oberflächenmodifizierung sicherzustellen. LAM RESEARCH Inova ist mit Blick auf Flexibilität konzipiert, so dass eine breite Palette von Ätzparametern für verschiedene Anwendungen eingestellt werden kann. Dazu gehört die Fähigkeit, Gasmischverhältnisse einzustellen und Druck, Leistung und Temperatur einzustellen, um die gewünschte Ätzleistung zu erreichen. Darüber hinaus ermöglichen Inovas erweiterte Software-Steuerungspakete dem Benutzer, den Ätzprozess anzupassen und zu optimieren sowie die Ätzergebnisse in Echtzeit zu überwachen und zu analysieren. LAM RESEARCH Inova unterstützt die Batch- und Single-Wafer-Verarbeitung und ist in der Lage, 330mm Wafer-Verarbeitung. Die Ätzkammer wird mit flüssigem Stickstoff gekühlt, um einen gleichmäßigen Ätzprozess zu gewährleisten und eine überlegene Kühlung für einheitliche Profile zu gewährleisten. Es verfügt auch über eine druckgesteuerte Ätzkammer mit einer automatischen Drucksteuerung, die eine stabile Ätzumgebung aufrechterhält. Darüber hinaus verfügt Inova über ein fortschrittliches Ferndiagnosesystem, das eine erweiterte Remote-Unterstützung bietet. LAM RESEARCH Inova bietet hervorragende Leistung bei Ätzanwendungen wie Oxidstrippen, Photolackätzen und Hartmaskenätzen. Darüber hinaus ist es so konzipiert, eine Vielzahl von Materialien zu ätzen, sowie verschiedene Folienstapel unterzubringen. Dies macht Inova zu einer idealen Wahl für eine Vielzahl von Ätzanwendungen in der Halbleiter-, MEMS- und MEMC-Industrie. Zusammenfassend ist LAM RESEARCH Inova ein fortschrittliches Etch/Asher, entwickelt für schnelle, präzise und zuverlässige Ätzleistung. Dieses anspruchsvolle Ätzwerkzeug ist vollständig eingeschlossen, bietet eine kontrollierte Ätzumgebung und ist mit einem erweiterten Softwaresteuerungspaket für kundenspezifische Leistung ausgestattet. Darüber hinaus unterstützt es die Batch- und Single-Wafer-Verarbeitung und ist in der Lage, 330mm Wafer-Verarbeitung, so dass es eine ausgezeichnete Wahl für Ätzanwendungen in einer Vielzahl von Branchen.