Gebraucht LAM RESEARCH Inova #293610308 zu verkaufen

LAM RESEARCH Inova ist eine fortschrittliche Ätz- und Ascheausrüstung mit hohem Durchsatz und präziser Prozesssteuerung. Es ist die neueste Ausrüstung auf dem Markt und bietet höchste Genauigkeit und Zuverlässigkeit bei der Durchführung von Ätz- und Ascheprozessen. Inova-System ist entworfen, um eine breite Palette von Ätz- und Ascheprozessaufgaben zu bewältigen. Es ist mit einem fortschrittlichen Ultra-High-Speed-Sputter-Ätz-/Aschemechanismus entwickelt, wodurch es in der Lage ist, qualitativ hochwertige Ätz- und beliebige Aschefunktionsbreiten bei höheren Über- und Auflösungen als jede andere handelsübliche Ätz-/Ascheeinheit zu liefern. Diese Funktion gibt LAM RESEARCH Inova ein hohes Maß an Prozesssteuerung und Wiederholbarkeit, und es ist gut für Halbleiterherstellungsanwendungen geeignet. Die Maschine bietet verschiedene Prozessoptionen wie Etchback, Mechanized Etch und Reactive Ion Etch (RIE). Es verfügt auch über erweiterte Plasma Enhanced Chemical Etch (PECE) -Funktionen, die eine größere Flexibilität in den Prozessbedingungen und eine Anpassung im Laufe der Zeit (auch wenn die Kammer im Vakuum ist) ermöglichen. Inova hat auch eine breite Palette von anpassbaren Funktionen wie die Adaptive Process Control (APC), Advanced Profile Control (APC) und Adaptive Profile Control (APC) Technologien. Diese Funktionen ermöglichen es Benutzern, ihre Prozesssequenz sofort zu ändern und ihre Prozessparameter auf ihre Anforderungen abzustimmen. Darüber hinaus verfügt LAM RESEARCH Inova über ein automatisches Rezept-Ladetool, mit dem Benutzer leicht von einem Prozess zum anderen übergehen können, indem sie ein vom Benutzer bereitgestelltes Rezept in den Controller laden. Dies verbessert den Durchsatz und reduziert den Eingriffsbedarf des Bedieners. Inova verfügt auch über eine umfangreiche Bibliothek von Ätzrezepten, einschließlich maßgeschneiderter Lösungen, sowie eigene interne Rezepte, damit seine Benutzer ihre gewünschten Ätz- und Aschebedingungen mit Leichtigkeit erreichen können. Darüber hinaus bietet LAM RESEARCH Inova mit seiner intuitiven und einfach zu bedienenden Oberfläche und der benutzerfreundlichen grafischen Benutzeroberfläche eine einfache und einfache Möglichkeit, den Prozess zu steuern - auch mit eingeschränkter Bedienerfahrung. Inova ist ein leistungsstarkes Werkzeug für das Ätzen und Aschen und bietet dem Benutzer höchste Prozesskontrolle und Flexibilität. Mit seinem robusten und zuverlässigen Design ist LAM RESEARCH Inova eine ideale Lösung für eine Vielzahl von Halbleiteranwendungen.